產品描述
Agilent 4155C 半導體參數分析儀搭配 41501B SMU 擴展器，在單臺主機內提供 8 路高精度 SMU 與 2 路 VSU/VIU，0.1 fA-1 A / 0.5 µV-200 V 全量程覆蓋，適用于 CMOS、GaN、SiC 晶圓級直流特性、可靠性 WLR 與 TFT/LCD 陣列測試。
主要特點
分辨率：0.1 fA / 0.5 µV 最小量程，20 bit ADC，pA 級柵漏電與 µV 級閾值漂移一次解析
電壓/電流范圍：±200 V / ±1 A 脈沖，直流 ±100 V / ±100 mA，脈沖寬度 500 µs-1 s，占空比自適應保護 DUT
擴展能力：41501B 提供 4 額外 SMU 與 2 路 VSU/VIU，整機 8 SMU+2 VSU，多端口晶體管、CMOS 環形振蕩器一次完成
精度：電壓 0.02 %，電流 0.03 %，6 線開爾文遠程 Sense，消除探針與線纜壓降，1 mΩ 導通電阻可重復測
掃描速度：1 ms/點高速采樣，I-V、C-V、Q-V、擊穿、電荷泵等 15 種預置掃描模板，自動梯度提取 Vth、Gm、Rds-on
脈沖模式：±200 V 脈沖，最小 500 µs 脈寬，避免自熱，GaN HEMT 動態 Rds-on 測試與陷阱效應分離
軟件平臺：EasyEXPERT+ 圖形化測試庫 500+，支持 Python/PPL 腳本，數據直接導出 CSV、SPICE 模型參數
保護機制：Smart-SMU 過壓/過流/過溫可編程，自動降級限幅，50 µs 硬件切斷，保證超薄柵氧與納米器件安全
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