壓阻式：應力應變，電阻變化

　　這是目前應用廣泛的一類。其核心是一個硅基薄膜（壓力敏感膜片），并在其表面特定位置通過半導體工藝注入雜質，形成四個壓阻元件，通常連接成惠斯通電橋。

　　無壓力時：薄膜平整，四個電阻阻值相等，電橋處于平衡狀態，輸出為零。

　　施加壓力時：薄膜發生微小形變，貼附于其上的壓阻元件隨之承受應力。根據壓阻效應，硅的電阻率會因應力而改變：位于薄膜邊緣的電阻受拉應力，阻值增大；位于中心的電阻受壓應力，阻值減小。

　　電橋輸出：這種差動變化打破了電橋的平衡，輸出一個與壓力呈良好線性關系的差分電壓信號。由于壓阻效應靈敏度高，且硅材料的機械強度優異，這種設計可測量從幾帕到幾百兆帕的壓力范圍。

　　電容式：極板間距，電容變化

　　電容式傳感器同樣利用壓力敏感膜片，但檢測的是電容值的變化。它由固定電極與可動電極（即壓力敏感膜片）構成一個平行板電容器。

　　施加壓力時：膜片受力變形，向固定電極靠攏，兩極板間的距離減小。

　　電容量變化：根據電容公式，極距減小導致電容量增加。通過專用的信號調理電路（如C-V轉換電路）將此電容變化檢測并轉換為電壓或頻率信號輸出。這種方式的優勢在于靈敏度高、功耗極低，且溫度特性優良。

　　完整的信號鏈路

　　無論是壓阻式還是電容式，傳感器內部都集成了完整的信號調理鏈路。微弱的敏感信號（毫伏級電壓或皮法級電容變化）首先被儀表放大器或C-V轉換器提取并放大，隨后可能經過模數轉換器數字化，最后由數字接口（如I²C、SPI）輸出可直接供微控制器讀取的壓力值。

　　現代MEMS壓力傳感器還會在芯片上集成溫度傳感器，用于實時校正溫度變化對測量精度的影響，從而在寬溫域內保持穩定性能。正是這種將敏感元件與信號處理電路集成于同一微小芯片的設計，使得MEMS壓力傳感器能以極小的體積、極低的功耗，廣泛應用于智能手機、醫療設備、汽車胎壓監測及工業自動化等眾多領域。