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離子清洗機應用于微電子元器件產業
閱讀：391 發布時間：2021-2-1
微電子元器件產業采用等離子清洗機的等離子刻蝕技術。等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、表面處理、各向異性和各向同性失效分析應用、材料改性、包裝清洗、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻、增強粘接力、生物醫學應用、聚合反應、混合物清洗、預結合清洗。
等離子處理機的技術優勢：
等離子清洗機作用時間短（幾秒到幾十秒），溫度低，效率高；
等離子清洗機對所處理的材料無嚴格要求，具有普遍適應性；
等離子清洗機處理過程中不產生污染，無需進行廢液，廢氣的處理，節省能源，降低成本；幾何形狀無限制：大或小，簡單或復雜，部件或紡織品，均可處理
等離子清洗機工藝簡單，操作方便。大幅提高表面的潤濕性能，形成活性的表面
清洗: 去除灰塵和油污，精細清洗和消除靜電
