一般分三個檢測步驟：

*：氧分析儀的取樣裝置和預處理裝置是否漏氣？如果漏氣請檢查氣路并密閉。

第二：用量程和零點標氣通入氧分析儀，觀察氧分析儀的數值變化。觀察通入氧分析儀的標氣波動情況，穩定則說明分析儀效果良好。波動太大說明有問題。

第三：更換氧分析儀傳感器。確定下氧分析儀傳感器的原理，用電流表去測量氧分析儀傳感器的電流值大小。電化學的氧分析儀如果電流值小說明電化學氧分析儀出現問題。