大家對于germany慕尼黑VSH系列超高真空專用兩相混合式步進電機了解嗎?接下來為大家簡要概述一下:
一、產品定位(德國Phytron VSH)
德國慕尼黑Phytron VSH系列 = 超高真空專用兩相混合式步進電機,德國制造、航天級低放氣 。
二、工作原理(真空適配版)
- 基礎步進原理:定子繞組按序通電產生旋轉磁場,永磁轉子跟隨磁場步進轉動;步距角1.8°(200步/圈),開環(huán)即可精確定位 。
- 真空專屬設計
- 低放氣材料:V4A不銹鋼、鍍金引線、真空級絕緣漆,出氣率<10?12 Pa·m3/s,不污染真空 。
- 無油脂潤滑:固體潤滑(MoS?)/陶瓷軸承,無揮發(fā)、無油霧。
- 排氣結構:內置放氣孔,消除氣穴,耐受快速抽真空 。
- 密封:焊接/金屬密封,漏率<5×10?1? mbar·l/s 。
- 控制方式:脈沖驅動、開環(huán)定位;可選配編碼器/Resolver做閉環(huán) 。
三、核心參數(shù)(VSH系列)
- 真空等級:10?11 hPa(超高真空UHV)
- 保持轉矩:3.4 mNm~13 Nm
- 機身直徑:19~125 mm
- 溫度范圍:-270℃~+300℃(定制)
- 抗輻射:10? J/kg(航天級)
- 步距角:1.8°(200步/圈)
- 防護:無有機揮發(fā)、IP67級真空密封
四、主要用途(工業(yè)/科研/航天)
1. 半導體與真空鍍膜(最主流)
- 電子束蒸發(fā)、磁控濺射、PVD/CVD設備:靶材定位、基板傳輸、快門控制
- 晶圓傳輸、光刻、刻蝕、ALD原子層沉積系統(tǒng)
2. 科研與分析儀器
- 電子顯微鏡(TEM/SEM)、質譜儀、離子阱:樣品臺、光闌、透鏡精準調節(jié)
- 粒子加速器、同步輻射、核聚變裝置:束流控制、探測器定位
- 分子束外延(MBE)、表面分析、超高真空實驗室
3. 航天與空間模擬
- 衛(wèi)星姿態(tài)控制、太陽帆/天線展開、空間探測器(如火星車)
- 真空艙、熱真空環(huán)境、空間模擬設備驅動
4. 工業(yè)與特種場景
- 真空爐、真空干燥、真空閥門執(zhí)行機構
- 低溫(液氮/液氦)環(huán)境、潔凈室(ISO 5級)精密定位
- 輻射環(huán)境、深海/深井特種驅動
東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司具有良好的市場信譽,專業(yè)的銷售和技術服務團隊,憑著多年經營經驗,熟悉并了解市場行情,贏得了國內外廠商的支持。本公司已成為眾大中小企業(yè)的固定供應商及國內貿易商合作伙伴,至力于成為行業(yè)中之一的公司。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供,信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責,化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示:為規(guī)避購買風險,建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。