一、型號定位與核心參數（VSS 26.200.04）

德國Phytron（菲創）VSS 26.200.04 是專為超低溫+高真空場景設計的兩相混合式步進電機，主打-196℃~+85℃寬溫、10?11 hPa超高真空、高精度定位。

關鍵參數（精準版）

- 類型：兩相混合式步進，200步/轉（1.8°）

- 法蘭：26mm（NEMA 11）

- 保持扭矩：28 mNm

- 相電流：0.4 A（200.04）

- 相電阻：~8.5 Ω

- 相電感：~4.0 mH

- 轉動慣量：0.006 kg·cm2

- 重量：0.13 kg

- 長度：47 mm

- 溫度范圍：-196℃ ~ +85℃（液氮級低溫）

- 真空兼容：10?11 hPa（超高真空）

- 抗輻射：10? J/kg

- 定位精度：配SinCos編碼器→±0.001 mm重復定位

- 潤滑：專用低溫鋰基脂，干式真空兼容

二、核心功能特點

1. 環境耐受（核心優勢）

- 超低溫：-196℃液氮環境穩定運行，啟動扭矩波動<5%

- 超高真空：10?11 hPa，無揮發、無放氣，帶排氣孔防氣袋

- 抗輻射/抗振：10? J/kg抗輻射，可承受20g沖擊振動

- 寬溫穩定：-196℃~+85℃，磁路與繞組專為溫度優化

2. 精密驅動性能

- 微步進：支持1/512微步，分辨率達0.0035°/步

- 無抖動定位：特殊磁路設計，靜止無抖動，適合精密探頭/樣品臺

- 低慣量高動態：0.006 kg·cm2，啟停快、響應快

- 編碼器兼容：可選SinCos編碼器，實現閉環±0.001 mm重復定位

3. 結構與可靠性

- 干式真空設計：無有機揮發物，適配潔凈室/超高真空系統

- 輕量化緊湊：26mm法蘭、0.13kg，適合空間受限的低溫腔體

- 長壽命軸承：真空/低溫專用軸承，免維護周期長

- 定制化接口：支持雙軸、KTC/Pt100測溫、VGPL行星/諧波減速

三、典型應用場景

1. 低溫科學儀器（最主流）

- 冷凍電鏡（Cryo-EM）：樣品臺驅動、載網轉移、低溫倉定位

- 低溫探針臺：-196℃下晶圓/器件測試，微米級定位

- 液氮冷卻系統：閥門控制、流量調節、低溫腔體運動

2. 超高真空設備

- 電子顯微鏡（SEM/TEM）：樣品臺、探頭、探測器驅動

- 分子束外延（MBE）/電子束蒸發：靶材調節、快門控制、襯底旋轉

- 質譜儀/粒子加速器：離子源、分析器、探測器精密定位

3. 航天與科研

- 衛星姿態/太陽翼驅動：太空真空+溫度環境

- 高能物理實驗：輻射環境下的精密運動控制

- 超導設備：低溫腔體、磁體定位、冷卻系統驅動

4. 半導體與精密制造

- 晶圓檢測/探針臺：真空+低溫下的微米級定位

- 光刻/鍍膜設備：掩模臺、靶材驅動、真空腔體運動

四、使用與安裝要點

1. 安裝規范

- 剛性固定：無振動、無徑向/軸向外力，法蘭面平整

- 對中：軸與負載同軸度≤0.02 mm，避免軸承偏載

- 電纜：使用低溫/真空專用柔性電纜，耐-196℃、無揮發

- 排氣：確保電機排氣孔通暢，不被密封/覆蓋

2. 啟動與運行

- 低溫預冷：-196℃環境需緩慢降溫（≤5℃/min），避免熱沖擊

- 真空排氣：腔體抽真空時，電機同步排氣，防止內部壓力差

- 控制：用微步進驅動器（1/16~1/512），電流匹配0.4 A

- 禁止：干轉、超電流、超溫、超真空運行

3. 維護與壽命

- 免維護：專用低溫脂，正常工況5000小時+免維護

- 清潔：真空環境保持NAS≤6級，無顆粒、無油污

- 存放：常溫干燥，進出口封堵，防潮防塵

- 檢修：非授權嚴禁拆泵，精密組件拆即失保

東莞市廣聯自動化科技有限公司具有良好的市場信譽，專業的銷售和技術服務團隊，憑著多年經營經驗，熟悉并了解市場行情，贏得了國內外廠商的支持。本公司已成為眾大中小企業的固定供應商及國內貿易商合作伙伴,至力于成為行業中之一的公司。

germany菲創兩相混合式步進電機VSS 26.200.04的參數與功能特點

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