大家對于美國Parker高流量UHP隔膜閥955系列了解嗎?接下來為大家簡要概述一下:
美國Parker 955系列高流量UHP隔膜閥(Veriflo)
定位:半導體/超高純氣體/液體專用高流量隔膜閥,Cv最高0.55、真空–250psig、零顆粒、零泄漏、百萬次壽命,UHP高流量 。
一、核心產品特點(現場必記)
1. 流量與壓力(高流量核心)
- 流量:標準Cv=0.30,高流量Cv=0.55(氣動AOP)
- 壓力:真空–250psig(17.2barg);NC型250psig、NO型125psig
- 爆破壓力:750psig(手動)、375psig(氣動)
2. 潔凈與防顆粒(UHP關鍵)
- 無螺紋/無彈簧內腔:潤濕區無螺紋、無彈簧,零顆粒生成、零滯留
- 表面處理:內部電解拋光,Ra≤5μin(10μin標準)
- 材質:閥體Vericlean
316L VAR不銹鋼(Parker專屬UHP級)
- 潔凈組裝:Class 100潔凈室裝配,100%氦檢
3. 密封與泄漏(零泄漏)
- 隔膜:Elgiloy鈷基合金,高強度、耐腐蝕、百萬次循環
- 閥座:標準PCTFE,可選PEEK/Vespel,耐強腐蝕
- 內漏:≤4×10?? scc/sec He;外漏:≤2×10?1? scc/sec He
- 雙密封:金屬–非金屬雙密封,零外漏、防結晶卡滯
4. 結構與壽命(可靠免維護)
- 驅動:手動(Mini-Lever)/氣動(AOP),可選位置反饋
- 溫度:-40℃~+66℃,寬溫穩定
- 壽命:≥100萬次循環,腐蝕工況仍穩定
- 死體積:極小,易吹掃、無殘留
5. 衍生型號(靈活適配)
- 955:標準2通高流量
- 955Y:Y型雙聯,雙閥一體、節省空間、優化吹掃
- SM955:表面貼裝(Surface Mount),模塊化歧管安裝
二、核心技術要點(選型/安裝/維護)
1. 材質速覽(潤濕區)
- 閥體:Vericlean 316L VAR
- 隔膜:Elgiloy(鈷基合金)
- 閥座:PCTFE(標準)、PEEK、Vespel
- 壓蓋/螺母:17-4PH不銹鋼
2. 安裝要點(UHP必守)
- 潔凈安裝:Class 100潔凈環境,無油、無塵、無顆粒
- 連接:1/4"管 stub/VCR,無死區、無滯留
- 方向:按閥體箭頭,嚴禁反向安裝
- 扭矩:按手冊,嚴禁過緊(損壞隔膜/閥座)
- 間距:多閥并排≥1.5×閥體寬度,防干擾
3. 維護要點(延長壽命)
- 日常:檢查泄漏、溫度、動作,清潔表面
- 定期(6–12個月):氦檢泄漏、更換隔膜/閥座(原廠)
- 故障:泄漏→換隔膜/閥座;動作卡滯→清潔+換密封
- 禁忌:嚴禁打磨/焊接閥體、嚴禁非原廠配件、嚴禁超壓/超溫
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