REGAL JOINT 流量計FS-SC經典應用案例

REGAL JOINT FS?SC 是緊湊型葉輪式流量計，核心用于半導體、液晶、光伏、制藥等高精度流體系統的純水 / 藥液 / 冷卻水流量監測，支持模擬 + 報警輸出，適配歧管集成安裝，以下是 5 個經典應用案例：

案例 1：半導體晶圓清洗機純水回路（FS?3SC?0?J?24?A?N）

• 場景痛點：單片式清洗機的 8 路噴淋臂純水流量需獨立監測，要求無金屬溶出、低脈動、響應快，避免流量異常導致晶圓劃痕。

• 解決方案：FS?3SC（0.5–3 L/min）接液部為氟樹脂 + 陶瓷，無金屬離子溶出；LCD 數字顯示 + 三色 LED 報警，4–20mA 模擬輸出接入 PLC，歧管集成4臺*2套（如下圖），流量計節省空間。

• 實施效果：流量控制精度 ±2%，報警響應≤1s，晶圓良率提升 2.5%，維護時插拔式安裝縮短停機時間至 30min 內。

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案例 2：LCD 面板顯影液循環系統（FS?10SC?0?B?1/4?24?A?N）

• 場景痛點：顯影液（25℃）循環流量需穩定在 3–8 L/min，管路緊湊，需防腐蝕、低泄漏，避免流量波動導致線寬不均。

• 解決方案：FS?10SC（1.5–10 L/min）適配 Rc1/4 接口，氟樹脂密封抗化學腐蝕，與 Kantouch 接頭配套防泄漏；設定流量閾值，黃燈報警聯動泵組穩壓。

• 實施效果：流量波動控制在 ±0.5 L/min 內，顯影均勻性提升 4%，年泄漏故障減少 90%。

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案例 3：光伏電池片蝕刻藥液配管（FS?30SC?0?J?3/8?24?A?N）

• 場景痛點：蝕刻槽 3 路循環藥液（50℃）流量 5–25 L/min，需高溫耐受、抗 HF 腐蝕，且能與歧管集成實現集中監控。

• 解決方案：FS?30SC（5–30 L/min）耐溫 0–60℃，接液部氟樹脂 + 陶瓷抗腐蝕；接入 DCS 系統，實時記錄流量曲線，異常時自動切換備用泵。

• 實施效果：流量測量誤差＜±1.5%，蝕刻速率穩定性提升 3%，集中監控減少巡檢人力 60%。

案例 4：制藥凍干機液壓油冷卻回路（FS?30SC?0?B?3/8?12?A?N）

• 場景痛點：凍干機液壓系統冷卻水路流量需≥8 L/min，防止油溫超 60℃導致密封老化；要求抗震、低維護，適配中壓工況（1.6 MPa）。

• 解決方案：FS?30SC 量程覆蓋 5–30 L/min，金屬外殼抗震，“0" 位殘壓排出保護傳感器；與 ASK SVPG 切換閥聯動，定期巡檢冷卻回路壓力與流量。

• 實施效果：油溫穩定在 45±2℃，液壓密封壽命延長至 2 年，設備 OEE 提升 8%。

案例 5：新能源電池極片涂布機漿料循環（FS?3SC?0?T?3/8?24?A?N，PTFE 本體）

• 場景痛點：漿料（黏度 500 mPa?s）循環流量 0.8–2.5 L/min，需耐溶劑、無顆粒脫落，避免流量異常導致涂布厚度不均。

• 解決方案：FS?3SC（PTFE 本體）耐有機溶劑，葉輪間隙優化適配中黏度流體；模擬輸出接入涂布機伺服系統，閉環調節流量與涂布速度同步。

• 實施效果：涂布厚度公差控制在 ±5μm，批次合格率提升 3%，無因流量計污染導致的漿料報廢。

案例選型與核心價值總結

這些案例驗證 FS?SC 在高精度流體監測、抗腐蝕、集成安裝上的優勢，適配精密制造與化工流體的穩定控制需求。

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