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上海相澤機械設備有限公司
主營產品: BURKERT,BURKERT隔膜閥,BURKERT角座調節閥,BURKERT傳感器,BURKERT流量計 |
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2026-3-31 閱讀(258)
海德漢光柵尺的工作原理基于光柵的光學原理,利用莫爾條紋進行位移測量。
具體工作原理如下:
當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時,在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,
形成明暗相間的條紋,這種條紋稱為莫爾條紋37。
莫爾條紋的寬度W與光柵柵距ω、柵線角θ之間有關系式W=ω/θ(θ的單位為rad,W的單位為mm)。當ω=0.01mm,θ=0.01rad時,W=1mm,
即光柵放大了100倍1。
兩光柵尺相對移過一個柵距,莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規律近似正(余)弦函數,變化周期數與光柵相對位
移的柵距數同步1。
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了,
消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差1。
光柵尺還包括光源、檢測器和信號處理電路等組件,用于發射、接收和處理光信號。當光柵尺與測量物體相對位移時,光柵尺上的刻線將被照明并形成干涉條紋,
通過檢測干涉條紋的變化,可以計算出位移的數值2。
海德漢光柵尺廣泛應用于數控機床的閉環伺服系統中,可用作直線位移或者角位移的檢測,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應速度快的特點