JXA-8230電子探針是一種利用電子束作用樣品后產生的特征X射線進行微區成分分析的儀器，可以用來分析薄片中礦物微區的化學組成。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外，還有U元素以后的元素以外都可進行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經過加速和聚焦的極窄的電子束為探針，激發試樣中某一微小區域，使其發出特征X射線，測定該X射線的波長和強度，即可對該微區的元素作定性或定量分析。
 

　　JXA-8230電子探針的結構：
 

　　JXA-8230電子探針X射線顯微分析儀利用約1Pm的細焦電子束，在樣品表層微區內激發元素的特征X射線，根據特征X射線的波長和強度，進行微區化學成分定性或定量分析。電子探針的光學系統、真空系統等部分與掃描電鏡基本相同，通常也配有二次電子和背散射電子信號檢測器，同時兼有組織形貌和微區成分分析兩方面的功能。電子探針的構成除了與掃描電鏡結構相似的主機系統以外，還主要包括分光系統、檢測系統等部分。
 

　　JXA-8230電子探針主要由電子光學系統，X射線譜儀和信息記錄顯示系統組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學系統的構造基本相同，它們常常組合成單一的儀器。
 

　　JXA-8230電子探針的優點：
 

　　1、能進行微區分析：可分析數個μm3內元素的成分。
 

　　2、能進行現場分析：無需把分析對象從樣品中取出，可直接對大塊試樣中的微小區域進行分析。把電子顯微鏡和電子探針結合，可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯系起來。
 

　　3、分析范圍廣：Z>4其中，波譜：Be—U，能譜：Na—U。

　　JXA-8230電子探針的功能及特色：
 

　　電子探針可以對試樣中微小區域的化學組成進行定性或定量分析。可以進行點、線掃描、面掃描分析。還能全自動進行批量定量分析。由于電子探針技術具有操作迅速簡便、實驗結果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優點，故在冶金、地質、電子材料、生物、醫學、考古以及其它領域中得到日益廣泛地應用，是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。