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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電氣 |
|---|
產品名稱：ETAMax微光致發光成像系統MiPLATO-LED
產品型號：MiPLATO-LED
產品介紹：
MiPLATO-LED 是 EtaMax 推出的針對 MicroLED 市場的微光致發光成像系統，具備全流程在線檢測能力，可準確檢測 MicroLED 芯粒的發光強度、峰值波長、色度一致性等關鍵參數，是 MicroLED 從實驗線走向量產線的關鍵檢測設備。
性能特點：
• 配備高靈敏度光電倍增管（PMT）的高速微型光致發光（PL）強度映射儀
• 支持4英寸、6英寸晶圓上的R、G、B芯片及外延晶圓測量
• 光致發光與反射（或散射）的同步測量
• 帶漏電流檢測功能的LED芯片檢測
• 微型LED檢測。
– 可對低強度、無PL信號及異常高PL強度進行分類
– 芯片定位
– 缺陷定位與報告
• 特定區域的顯微圖像觀察
• 通過在PL映射數據中認定特定區域進行光譜特性分析（支持映射功能）
• 可使用單色儀在選定波長范圍內進行信號測量（選配）
• 外延片檢測
技術參數：
產地：韓國
掃描方式：螺旋掃描，配合1800轉/分鐘旋轉與線性運動
晶圓：4英寸、6英寸
載物臺：
XY軸線性載物臺、Z軸載物臺
R軸載物臺（高達1800轉/分鐘）
測量
物鏡：
5倍、10倍、20倍、50倍
無物鏡激光激發（選配）
成像相機
分辨率：2048 x 2048（400萬像素）
像素尺寸：5.5 μm x 5.5 μm
光纖：400微米束芯
光電倍增管
端口1（PMT 1）：帶通濾光片下的PL檢測
端口2（PMT 2）：反射（散射）
光譜儀
刻線密度：300線/mm
光譜范圍（nm）：210 – 2100
像素（每個）：2048 x 64
色散：0.44 nm/像素
激發光源
50 mW 375 nm 激光器（用于藍光、綠光LED）
50 mW 532 nm 激光器（用于紅光 LED）
測量速度
PMT 映射（同時掃描 2 個通道，步進 5 微米）
4英寸：
8件 / 1小時
6英寸：
6件 / 1小時
PMT 映射與頻譜映射（可選測量）
7 件 / 1 小時
(光電倍增管：5 μm / 光譜范圍：2 mm)
7 件 / 1 小時
(光電倍增管：5 μm / 光譜范圍：4 mm)
微型光譜儀測繪：3,600點/小時 步長：min2微米
尺寸（毫米）：2000（寬）× 1400（深）× 2000（高）
工作環境
場所：潔凈室（等級約10000級）
溫度：15 ~ 35°C
濕度：<85% RH（無冷凝）
設備參數
尺寸：1500 mm x 2000 mm x 2300 mm（含HEPA過濾器）
重量：1760 kg
輸入電壓：220V±10% 50/60Hz 單相
滿載電流：47A
真空1
40L/min，-80kPa
管徑：外徑6mm
真空2
120L/min，-40kPa
管徑：外徑6mm
空氣
90L/min，0.5MPa
管徑：外徑6mm
產地 | 韓國 | |
掃描方式 | 螺旋掃描，配合1800轉/分鐘旋轉與線性運動 | |
晶圓 | 4英寸、6英寸 | |
載物臺 | XY軸線性載物臺、Z軸載物臺 | |
R軸載物臺（高達1800轉/分鐘） | ||
測量 | ||
物鏡 | 5倍、10倍、20倍、50倍 | |
無物鏡激光激發（選配） | ||
成像相機 | 分辨率：2048 x 2048（400萬像素） | |
像素尺寸：5.5 μm x 5.5 μm | ||
光纖 | 400微米束芯 | |
光電倍增管 | ||
端口1（PMT 1） | 帶通濾光片下的PL檢測 | |
端口2（PMT 2） | 反射（散射） | |
光譜儀 | ||
刻線密度 | 300線/mm | |
光譜范圍（nm） | 210 – 2100 | |
像素（每個） | 2048 x 64 | |
色散 | 0.44 nm/像素 | |
激發光源 | 50 mW 375 nm 激光器（用于藍光、綠光LED） | |
50 mW 532 nm 激光器（用于紅光 LED） | ||
測量速度 | ||
PMT 映射（同時掃描 2 個通道，步進 5 微米） | 4英寸 | 6英寸 |
8件 / 1小時 | 6件 / 1小時 | |
PMT 映射與頻譜映射（可選測量） | 7 件 / 1 小時 (光電倍增管：5 μm / 光譜范圍：2 mm) | 7 件 / 1 小時 (光電倍增管：5 μm / 光譜范圍：4 mm) |
微型光譜儀測繪 | 3,600點/小時 步長 | |
尺寸（毫米） | 2000（寬）× 1400（深）× 2000（高） | |
工作環境 | ||
場所 | 潔凈室（等級約10000級） | |
溫度 | 15 ~ 35°C | |
濕度 | <85% RH（無冷凝） | |
設備參數 | ||
尺寸 | 1500 mm x 2000 mm x 2300 mm（含HEPA過濾器） | |
重量 | 1760 kg | |
輸入電壓 | 220V±10% 50/60Hz 單相 | |
滿載電流 | 47A | |
真空1 | 40L/min，-80kPa | |
管徑：外徑6mm | ||
真空2 | 120L/min，-40kPa | |
管徑：外徑6mm | ||
空氣 | 90L/min，0.5MPa | |
管徑：外徑6mm | ||
產品應用：
MicroLED 實驗線：在 MicroLED 實驗階段，MiPLATO-LED 可用于快速評估不同工藝條件下 MicroLED 芯粒的性能表現，為工藝優化提供數據支持。
MicroLED 量產線：在 MicroLED 量產階段，MiPLATO-LED 可實現全流程在線檢測，確保每一片晶圓上的 MicroLED 芯粒都符合質量標準，提高良品率。
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