淺談AGC氦放電離子化檢測器（DID）氣相色譜

在特種氣體分析中的應用

曾素芳¹  王非非²

（1 愛爾蘭AGC儀器公司北京代表處，北京，102628；2 濟鋼鮑德氣體有限公司，山東，250108 ）

摘要：隨著氣體行業的發展，尤其是特氣行業的發展對氣體分析儀器的要求更高，在這樣的條件下，AGC公司氦放電離子化檢測器(DID)氣相色譜儀及時解決了分析行業的難題。本文著重講述它在高純氦氣、高純氪氣、高純氙氣、高純氯化氫氣體，砷烷等特氣分析中的應用。

關鍵詞：特氣 氣相色譜儀 DID

The applications of AGC DIDGas Chromatography in special gas analysis

Zeng sufang

(AGC China, Beijing, 102628)

Abstract: With the development of the science and technology, especially in the gas analysis field the instruments of analysis are required stricter and stricter. So the AGC discharge ionizition detector (DID) Gas Chromatography resolved the problems of the analysis in time. In this article discribing the applications of the DID instrument in special gas field such like high pure He, high pure Kr, high pure Xe, high pure HCl and AsH3 and so on.

Key words: special gas, gas chromatography, DID

1 引言

氣體產品種類很多，根據一般情況對氣體的概況加以比較切合實際的分類，大至可以分為兩大類別，一類是一般工業氣體，另一類就是特種氣體。

一般工業氣體主要包括經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣、氮氣和經過焦爐氣分離或電解等方法制造的普通純度的其它種類氣體。這類氣體一般生產量大，但氣體純度不高。特種氣體則是在用途、純度、品種、性能等方面都有別于一般氣體的氣體。特種氣體種類很多，基本可以分為三類，即高純氣體、標準氣體和電子特種氣體。隨著現代工業的發展和信息時代的來臨，特種氣體在現代工業和生活中扮演著越來越重要的角色。

2、中國特氣市場現狀

中國的超純度特種氣體研制始于1983年，研究的內容為超純氣體和烷類氣體。我國對于超純度特種氣體的研究經歷了20多年的努力，開發出了一批特種氣體，可以滿足中小規模集成電路用氣。到2008年，我國超大規模集成電路和光伏太陽能電池發展異常迅猛，極大地刺激了電子氣體的需求。在過去的二三十年中，歐洲的林德（Linde）和液化空氣(Air Liquide)，美國的AirProducts和普萊克斯（Praxair），日本大陽日酸(Taiyo Nippon Sanso)，日本昭和電工(SDK)，以及被Air Liquide和Linde收購的Messer和BOC公司加大了對中國市場的投資，在江蘇、武漢、上海等省市新建了許多大型相關行業的工廠，這使得的中國的特氣市場呈現出一片欣欣向榮的景象。

然而任何事物都不是單一存在的，特氣行業的發展也不例外。特氣市場蓬勃發展，氣體種類增多，純度提高，而與之密切相關的特氣分析也面臨著新的挑戰，特氣分析技術直接影響著檢測的結果，也就是特氣的質量指標，這使得質量分析的難度也越來越大，因此特氣分析儀器也面臨著發展和革新，要求分析儀器必須有更高的精度，更好的靈敏度，更低的檢測限。這使得先前zui常用的通用型熱導檢測器（TCD）氣相色譜儀已經遠遠不能滿足特氣檢測的要求，而愛爾蘭AGC儀器公司生產的氦放電離子檢測器（DID）氣相色譜儀正是在這樣的環境下應運而生的。AGC的DID氣相色譜儀以其*的檢測方式將特氣檢測領域推進了一個新的時代，這是氣體檢測行業一次劃時代的突破，正是由于他的存在，特氣的檢測變得簡便而。

3．AGC氦離子放電檢測器（DID)氣相色譜儀的特點

3.1 DID檢測器的結構及特點

圖1  DID氣相色譜儀檢測結構示意圖

DID的主體由上下兩個小室所構成，稱為電離室和放電室，兩室之間由一狹小開口連接。上室是放電區域，超高純度的氦氣充滿其中，室內有一對相距很近的電極，電極兩端施以適量的高壓后，可以得到一束高能量的紫外光輻射(400-500nm)，紫外光在電離室中使大量的氦原子被激化，被激化的氦原子與電子碰撞產生氦離子，即通常所說的亞穩態，被激化的氦及被離子化的氦在電極間形成放電電流，即放電電流。分析物的檢測發生在下室即放電室，亦稱為離子化室。被激化的氦原子具有很高的能量，通過上下室之間狹小的開口進入下室，并與來自色譜柱的載氣及已分離的雜質分子發生非彈性碰撞使各種雜質分子電離。此時在集電極上加以適當電壓收集被電離的雜質分子，可以得到與濃度成正比的電流信號。并將這種信號放大輸出到色譜工作站上，即得到被測成份的譜峰。

圖2  主族元素*電離能

由上圖可以看出氦的*電離能為24.587ev，是所有主族元素中zui高的，故光子和亞穩態氦原子具有的高能量可使包括氖在內的一切物質分子電離，因此，DID是一種通用型檢測器。又由于其*的結構特征，DID稱為目前檢測特氣中穩定性的檢測器。

3.2 DID氣相色譜儀的特點

DID在應用中，高純氦（≥99.9999％He）為載氣，普通用戶的一般條件下，其檢測限可達到5--10ppb，其線性為10^-6，相比較TCD線性10^-3、FID線性10^-5～10^-6，DID檢測器的線性得到了很大的改善，而在實驗室條件下，其檢測限甚至可以達到1ppb。

DID氣相色譜儀系統設計中，可以根據實際需要采用反吹技術，即在預分離柱內將出峰較晚的主組分或不需要的組分放空，從而使這些組分不進入系統的第二根色譜柱，而出峰較早的雜質則可以順利進入進行再次分離，使得分離更*，而且也消除了主組分或不需要的組分對系統的影響。

DID氣相色譜儀系統設計中除了可以采用反吹技術以外，還可以配合采用中心切割技術。樣品進入預分離柱中進行預分離后，背景氣的峰可以通過使用閥的一次次切割從放空口派出，而需要的雜質組分峰則仍然可以進入第二根色譜柱再次分離，這使得大量的背景氣不能進入檢測器，從而可以解決主組分大峰掩蓋較小的雜質峰的問題，同時背景氣對檢測器的影響也大大降低，靈敏度相應也提高了。

在測定高純氧及高純氫等氣體中微量或痕量雜質時，如果不采用中心切割技術，可配附屬設備脫氧阱和氫分離器，在樣氣進入色譜柱進行分離之前，將其中主要成份氧和氫脫掉，不僅使被測組分分離避免了主組分峰的干擾, 同時也進一步提高了儀器檢測靈敏度。

根據實際需要，選用不同色譜柱可以測定多種特氣中多種雜質氣體成分，還可以配接毛細管柱，擴大分離效能，檢測更多種成份。

4．AGC氦放電離子化檢測器（DID）氣相色譜儀在特氣行業的應用

正是由于AGC氦放電離子化檢測器諸多的特性和優點，加上氣相色譜儀分析技術在特氣分析中的應用越來越純熟，隨著不斷推廣，它得到了越來越多客戶的認可。無論是空氣分離中提取的高純氬氣(Ar)、高純氮氣(N2)，高純氧氣(O2)甚至高純氪氣(Kr)和高純氙氣(Xe)，由天然氣中提取高純氦氣(He)，由水或天然氣作為原料反應生成的高純氫氣(H2)，還是煤化工生產中的乙烯氣(C2H4)和丙烯氣(C3H6)，DID氣相色譜儀在其雜質分析中得良好表現越來越被業界看好。而今AGC公司的氦放電離子化檢測器(DID)氣相色譜儀也已經強勢進入制藥、電子半導體、石油化工等行業，并在一些具有影響力的大企業中應用且得到好評。本文著重就DID氣相色譜儀在特氣分析中幾個典型的應用做詳細的闡述。

4.1 DID在高純惰性氣體分析中的應用

4.1.1 對Linde 高純氦氣（He）分析

He是重要的工業氣體，在國防、科學研究等方面有重要作用。對He中雜質的檢測，使用DID檢測器氣相色譜儀zui為理想。由于檢測樣品與氣相色譜儀所用載氣一致，因此沒有背景氣的干擾，整體檢測的靈敏度較高。而氦氣中的Ne由于電離電位高，一般電離檢測器靈敏度都很低，DID檢測器能給它較高的檢測靈敏度。

氦氣中一般含有少量的Ne，但由于Ne的電離電位僅次于He，且高于亞穩態的氦(He+)，而且離子化率很低，所以Ne的電離效率低，故響應也低，而且氦氣中Ne的峰往往是負峰。

氦氣檢測系統采用分子篩柱分離出Ne、Ne、H2、O2、N2、CH4、CO，而CO2的分離選用Hayesep Q柱進行分離。zui后得到的分析結果可以見下圖3：

 圖3  氦中Ne、H2、O2、N2、CH4、CO、CO2雜質譜圖

4.1.2 對濟鋼高純氪氣（Kr）和高純氙氣（Xe）的分析

由于Kr、xe在電真空和電光源方面有*優勢，填充Kr，Xe的燈泡比填充其他氣體燈節能20％一30％，發光率高2～3倍，并且壽命長，Xe燈發光強，在霧天及夜中導航以及軍事方面有特殊的應用。而Kr填充的電子管，可以用于宇宙射線測量。對于Kr，Xe氣中雜質的分析與常規的*性氣體檢測不同，一般認為惰性氣體不與任何物質反應，而實際上Kr、Xe與鹵素F都有化合物，會形成穩定的CF4、C2F6和SF6，這些氣體的存在會使電光源性能受到影響。所以新的檢測方法對Kr、Xe中CF4、C2F6和SF6都提出了檢測指標要求。如下圖4和圖5：

圖4 中華人民共和國國家標準 GB/T 5829-2006  ——氪氣

圖5 中華人民共和國國家標準 GB/T 5828-2006  ——氙氣

4.1.2.1 濟鋼高純氪氣（Kr）和高純氙氣（Xe）分析的氣路系統

濟鋼氪氣（Kr）和高純氙氣（Xe）分析采用AGC公司100系列DID氣相色譜儀進行，他們的氣路系統構架基本相同，不同之處在于其中選用的色譜柱的長度和各色譜柱的使用條件有差異，這是由于分析的需要而特別設計的，色譜儀的氣路系統如下圖：

圖6  高純氪氣（Kr）和高純氙氣（Xe）分析的氣路圖

整個氣體運行系統均采用VCR密封連接，以保證系統的氣密性。整個系統可以看成兩個單獨的小系統，可以稱之為分子篩系統和Hayesep系統。如上圖的上半部分為分子篩系統，主要包括一個十通閥，一個四通閥和三根長度不同的分子篩柱。上圖的下半部分為Hayesep系統，主要包括一個六通閥，兩個四通閥和兩根長度不同的Hayesep Q 柱。而樣品氣系統只有*一個進樣口，它在吹掃分子篩系統定量管的同時，也在吹掃Hayesep系統，因此在進樣時，無論先運行分子篩系統還是先運行Hayesep系統都互不影響，而且在保證樣品氣存在的情況下，整個系統可以根據需要隨時進樣。

系統的進樣是采用氣體驅動自動運行的，整個進樣的時間和事件的控制均有色譜工作站設置控制的，只要在工作站上將所有的事件設定好，運行程序儀器就會按照設定的值自動運行。

4.1.2.2 濟鋼高純氪氣（Kr）和高純氙氣（Xe）分析的結果

在使用DID檢測高純氪氣（Kr）時，在氣路圖的分子篩系統中的反吹柱即Col 3為0.5米的分子篩柱，溫度設定為100度，用于反吹過多的氪，Column 1和Column 2均為3米的分子篩柱，溫度設定為100度，進樣量為1ml。在此操作條件下，分子篩系統中各種組分的出峰順序是SF6，H2，O2，N2，CH4，CO, Xe。

在Hayesep柱系統中預分離柱Col 1為3米的Hayesep柱，Col 2為6米的Hayesep柱，兩柱的溫度均設定為60度，進樣量為1ml。在此操作條件下，Hayesep系統中各種組分的出峰順序是：H2，AIR, CF4，CH4，Kr，CO2，N2O，C2F6，Xe。

進標準氣可以的到如下的譜圖：（其中標氣是以氦氣為背景氣，包含SF6，H2，O2，N2，CH4，CO, CF4，CO2，N2O，C2F6，Xe）

圖7 氦標氣中各雜質檢測分析（分子篩系統反吹Xe）

在檢測氪氣雜質的系統中，關鍵在于中心切割技術的運用，通過中心切割是每一個需要的組分可以順利進入隨后的色譜柱分離，而在兩個色譜峰間隔的時間中，通過中心切割閥使預分離的背景氣峰排空，這樣進入檢測的背景氣較少。可以得到如下的圖譜：

譜圖8   高純氪氣樣品分析色譜圖

在使用DID檢測高純氙氣（Xe）時，在氣路圖的分子篩系統中的反吹柱即Col 3為0.5米的分子篩柱，溫度設定為100度，用于反吹過多的氪，Col 1和Col2均為3米的分子篩柱，溫度設定為100度。在此操作條件下，分子篩系統中各種組分的出峰順序是SF6，H2，O2，N2，CH4，CO, Xe。

在Hayesep柱系統中預分離柱Column 1為0.3米的Hayesep柱，Column 2為6米的Hayesep柱，兩柱的溫度均設定為50度。在此操作條件下，Hayesep系統中各種組分的出峰順序是：H2，AIR, CF4，CH4，Kr，CO2，N2O，C2F6，Xe。

檢測高純氙氣關鍵在反吹氙氣峰，在分子篩系統中樣品氣經過*根色譜柱即Col 3預分離后，氙氣的峰出在所有雜質峰的后面，即保留時間zui長，故采用反吹技術在此將大量的氙反吹出系統。在zui后的分離中不需要中心切割就可以得到完整的、峰型的各種雜質峰。如下圖9所示：

圖9 氦標氣在分子篩系統中各雜質檢測分析（反吹Xe）

4.2 DID 在易燃、易爆和腐蝕性氣體分析中的應用

可燃性氣體，有毒氣體和腐蝕性氣體在大多數人聽來都是很**的事物，這樣的高純氣中雜質的分析對所有分析儀器來說都更是挑戰。由于其特殊性，在使用中需要注意的事項特別多，樣品分析前期的準備和預處理裝置也是有特殊的要求，因此用于這樣氣體分析的分析儀器并不多，目前AGC公司DID氣相色譜儀在這方面的分析應用逐漸獲得更多用戶的關注。

4.2.1 對山東淄博萬達利特氣高純氯化氫氣體（HCL）的分析

山東淄博萬達利特氣公司生產的高純HCL氣體是目前全國*一家可以生產出HCL純度達到5N的公司，對他公司的HCL氣體中各種雜質的分析選用100系列DID來完成，系統氣路如下圖10：

圖10 高純HCL分析用100DID系統氣路圖

該系統中所有可能使HCL進入的管線全都是采用Hastalloy管線，其余管線全都是硅鋼管線，所有接頭均采用VCR密封連接，確保密封性。在儀器內部樣品氣進入定量管之前位置增加一個電磁閥，讓讓樣品氣充分吹掃完成準備進樣前切斷樣品氣，讓其壓力迅速降至大氣壓，幾秒鐘后迅速進樣，這樣避免了由于壓力控制不同而造成每次進樣量微小的差別，造成檢測結果微小的誤差。另外為了置換和進樣方便，在儀器外部設計樣品氣取樣系統：

附圖11 簡易取樣系統系統氣路圖

由于每次進樣需要吹掃系統，而樣品氣不能大量的吹掃，故在設計吹掃系統時，可以使用高純氦氣在標氣或樣品氣進入儀器前吹掃取樣管路。將閥1、2、3、5關緊，打開閥4，打開高純氦氣吹掃管道，一段時間后，關閉閥4，閥1，若進樣品則打閥2，若進標氣則打開閥3，打開閥5，即可檢測，這樣可以減少吹掃的時間。

該系統進標氣可以得到如下色譜圖12 （背景氣為氦氣，包含雜質為H2，O2，N2，CH4，CO，CO2）

圖12 標氣進樣分析得到的色譜圖

經過取樣裝置置換幾次后進樣，我們可以得到這樣的樣品氣檢測色譜圖，如下圖14：

圖13 高純HCl氣體中雜質檢測色譜圖

4.2.3 對北京化工研究院高純砷烷（AsH3）中雜質的分析

由于強烈砷烷的吸附性，北京化工研究院試驗用高純砷烷采用AGC公司600系列DID氣相色譜儀進行分析，此儀器的氣路系統中所有的管線都已經進過特殊鈍化處理，防止含量很低的砷烷在金屬管道中被吸附而使zui終分析得不到砷烷的色譜峰。

運用該系統進標準氣得到如下的色譜圖，見圖16：使用標準氣標定儀器后，進含有砷烷的樣品氣可以得到以下色譜圖，見圖17：

圖16 背景氣為氦氣的標準氣色譜圖          

      圖17 含砷烷樣品氣色譜圖

5. 結語

隨著我國科技的發展，特氣產品的附加值越來越高，特氣的應用領域也越來越廣泛，涉及的行業也更多，因此越來越多的公司加入到特氣生產的行業中來，這也使得對特氣的質量要求越來越高。AGC公司放電離子化檢測器DID氣相色譜儀配以特定的氣路系統在特氣分析方面將會顯現出越來越大的*性，相信在不久的將來它會成為特氣行業氣體分析的主角。

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