在半導體行業中,離子色譜柱主要用于半導體原材料、超純水以及廢液中痕量離子的精準檢測與分析,是半導體制程管控、產品純度保障及環保合規的核心耗材之一。例如,半導體芯片制造過程中,超純水作為關鍵清洗試劑,其純度直接影響芯片的良率和性能,水中痕量的陰離子和陽離子會導致芯片表面出現缺陷、氧化失效等問題;離子色譜柱可實現對這些痕量離子的高靈敏度、高分離度檢測,精準把控離子含量,為制程優化和產品質量管控提供可靠數據支撐。
安譜實驗推出多款高性能離子色譜柱,覆蓋陰離子、陽離子及專用分析柱,產品體系完整,配套保護柱齊全,兼容主流離子色譜儀,支持從常規無機離子到復雜有機離子的檢測需求,是半導體行業檢測分析的可靠選擇。
應用一:
超純水中7種無機陰離子的分析
(碳酸根淋洗液)
色譜條件:
色譜柱:CNWSep CS-P3 陰離子交換色譜柱 4.0×150mm,5μm(貨號:LAEQ-4015N3)
檢測器:電導檢測器 抑制電流:40mA
淋洗液:4.5mM Na2CO3 +1mM NaHCO3
流速:1.0mL/min
進樣體積:25μL
柱溫:30℃
實驗譜圖:


應用二:
超純水中10種無機陰離子的分析
(碳酸根淋洗液)
色譜條件:
色譜柱:CNWSep CS-P4 陰離子交換色譜柱 4.0×250mm,5μm(貨號:LAEQ-4025N4)
檢測器:電導檢測器 抑制電流:40mA
淋洗液:4.5mM Na2CO3 +1mM NaHCO3
流速:1.0mL/min
進樣體積:25μL
柱溫:30℃
實驗譜圖:

應用三:
超純水中無機陰離子的分析
(氫氧根淋洗液)
色譜條件:
色譜柱:CNWSep AS-P1 陰離子交換色譜柱 4.0×150mm,5μm(貨號:LAEQ-4015M1)
檢測器:電導檢測器 抑制電流:72 mA
淋洗液:20mM KOH
流速:1.2mL/min
進樣體積:25μL
柱溫:30℃
實驗譜圖:


應用四:
非抑制法測定6種常見陽離子
色譜條件:
色譜柱:CNWSep MS-P3 非抑制陽離子交換色譜柱 4.6×250mm,5μm(貨號:LAEQ-4625L3)
檢測器:電導檢測器 池溫:35℃
淋洗液:3mM MSA
流速:1.0mL/min
進樣體積:25μL
柱溫:30℃
實驗譜圖:


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