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旋涂儀(Spin Coater),又稱勻膠機或旋轉涂覆機,是一種用于在基片(如硅片、玻璃、金屬等)表面均勻涂覆薄膜的實驗或生產設備。它通過高速旋轉產生的離心力,使液態材料(如光刻膠、聚合物溶液、納米材料懸浮液等)均勻鋪展并形成可控厚度的薄膜,廣泛應用于半導體、微電子、光學涂層、材料科學等領域。
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