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希而科歐洲進口BROOKS流量計、流量控制器等 精密流量測量與壓力控制解決方案
希而科工業控制設備（上海）有限公司
希而科貿易（上海）有限公司
上海市浦東新區王橋路999號中邦商務園1034-1035幢
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希而科歐洲進口BROOKS流量計、流量控制器
一.BROOKS介紹
Brooks Instrument 是*精密流體測量與控制領域，隸屬美國 Brooks Automation 集團，創立于 1946 年，總部位于美國馬薩諸塞州切姆斯福德，深耕流量、壓力、真空控制技術80 年 +，以 “Accelerating Innovation" 為核心，是半導體、新能源、生物制藥等制程的核心工藝伙伴，被譽為流量控制領域的 “黃金標準"。
? 行業地位
*熱式質量流量控制器（MFC），裝機量超百萬臺，半導體行業標配。
半導體制程流量 / 壓力控制技術，參與制定多項國際行業標準。
生物制藥、光伏、氫能等新興領域核心供應商，*超120 個國家的工業客戶信賴。
美國納斯達克上市企），研發投入占比超 15%，技術迭代持續。
*服務網絡覆蓋北美、歐洲、亞洲，在中國上海、蘇州、深圳設技術中心與倉庫，48 小時極速響應。
? 核心技術優勢（80 年技術沉淀）
? MultiFlo 技術：單臺設備支持多氣體 / 多量程切換，無需拆機，降低 90% 維護成本。
? 熱式傳感核心：無移動部件，精度高達 ±0.6% SP，重復性 ±0.1%，長期零漂移。
? 金屬密封潔凈技術：5850EM/5964 系列采用全金屬焊接密封，適配超高純 / 腐蝕性氣體，泄漏率≤1×10??sccm。
? 智能數字化平臺：內置bsc 智能控制芯片，支持遠程診斷、預測性維護、數據溯源，適配工業 4.0。
? 工況適配：耐壓最高4500psig，耐溫 **-20℃~150℃**，防腐蝕、防顆粒、抗振動，適配嚴苛制程。
? 全協議兼容：支持 EtherCAT、Profibus、DeviceNet、RS-485 及模擬信號，無縫對接主流 PLC 系統。
? 典型應用領域（制程全覆蓋）
半導體制造：晶圓沉積、刻蝕、擴散、離子注入等工藝氣體精準控制。
生物制藥：生物反應器、發酵罐、層析系統氣體 / 液體流量精密調控。
新能源：光伏硅片制程、氫能燃料電池、鋰電池電解液 / 冷卻劑流量控制。
化工石化：精密反應釜、催化劑輸送、高純氣體配比流量 / 壓力閉環控制。
分析儀器：氣相色譜、質譜、環境監測設備標準氣體流量校準。
真空制程：鍍膜、熱處理、太空模擬真空度精準測量與控制。
二. BROOKS產品經營范圍介紹
Brooks Instrument 以精密流體測量與控制為核心，構建七大核心產品矩陣 + 系統解決方案 + 原廠服務全產業鏈，覆蓋氣體 / 液體、低壓 / 高壓、標準 / 超高純、常規 / 防爆全場景，為工業制程提供全維度流體控制保障。
1. 核心產品系列（技術規格 + 結構特點 + 核心價值）
（1）熱式質量流量控制器（MFC）
定位：氣體流量精準控制，半導體 / 制藥標配。
代表系列：SLA5800（標準型）、5850EM（金屬密封）、5964（超高純）、SLAMf（高壓型）。
結構：熱式傳感元件 + 精密分流器 + 高速電磁閥 + 智能控制板，一體化集成。
材質：316L 不銹鋼 / 哈氏合金，密封可選氟橡膠 / 金屬焊接。
參數：流量3sccm~30000slpm，精度±0.6% SP，響應時間＜100ms。
特點：MultiFlo 多氣體切換、長期穩定、超低泄漏、免校準周期≥2 年。
（2）科里奧利質量流量計（CMF）—— 高精度液體 / 氣體
定位：直接式質量測量，高精度 / 高穩定性場景。
代表系列：CMF 1000、CMF 2000、CMF 3000。
結構：雙振動管 + 電磁驅動 + 相位檢測系統，無直管段要求。
參數：流量0.1kg/h~10000kg/h，精度±0.15% 讀數，密度精度±0.001g/cm3。
特點：直接測質量、不受溫度 / 壓力影響、可測高粘度 / 腐蝕性介質。
（3）壓力控制器 / 真空計 —— 壓力精準控制
定位：制程壓力閉環控制，真空 / 高壓場景核心設備。
代表系列：3750（高壓）、1350（標準）、2001（真空）、1024（高精度）。
參數：壓力范圍-1bar~310bar，控制精度±0.1% FS，真空度≤1×10??mbar。
特點：PID 智能調節、快速響應、過壓保護 / 防喘振設計。
（4）變面積流量計（轉子流量計）—— 經濟可靠
定位：低成本直觀流量顯示，中小流量 / 常規工況適配。
代表系列：2520A、3500、4500。
參數：流量0.1L/min~1000L/min，精度±2% FS，耐壓≤4MPa。
特點：結構簡單、無需電源、現場直讀。
（5）超聲流量計 —— 非接觸測量
定位：大流量 / 腐蝕性 / 衛生級液體，非侵入式測量。
代表系列：UF 1000、UF 2000。
參數：管徑DN15~DN3000，精度±1% 讀數，溫度-40℃~150℃。
特點：無壓損、無泄漏、安裝無需斷管、適配衛生級 / 防爆場景。
（6）智能控制系統與配件
bsc 智能平臺：數據采集、遠程監控、故障預警、一鍵校準。
總線模塊：EtherCAT/Profibus/DeviceNet 通訊卡，即插即用。
原廠配件：密封件、傳感器、電磁閥、校準氣體，100% 適配、質保 18 個月。
2. 產品系列核心參數對比表
| 產品系列 | 測量原理 | 介質類型 | 流量范圍 | 精度 | 耐壓 | 核心優勢 | 典型應用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SLA5800 MFC | 熱式 | 氣體 | 3sccm~2500slpm | ±0.6%SP | 1500psig | MultiFlo 多氣體、穩定耐用 | 半導體、制藥、光伏 |
| 5850EM MFC | 熱式 | 高純 / 腐蝕氣體 | 10sccm~5000slpm | ±0.5%SP | 3000psig | 金屬密封、超低泄漏 | 超高純制程、真空鍍膜 |
| CMF 科里奧利 | 科氏力 | 氣體 / 液體 | 0.1~10000kg/h | ±0.15% 讀數 | 4500psig | 直接測質量、不受工況影響 | 化工配比、新能源電解液 |
| 3750 壓力控制器 | 壓電傳感 | 氣體 / 液體 | - | ±0.1%FS | 310bar | 高壓穩定、PID 快速調節 | 高壓反應釜、氫能設備 |
| 2520A 轉子流量計 | 浮子 | 氣體 / 液體 | 0.1~1000L/min | ±2%FS | 4MPa | 經濟直觀、無需電源 | 實驗室、常規工業循環 |
| UF 超聲流量計 | 超聲波 | 液體 | DN15~DN3000 | ±1% 讀數 | 1.6MPa | 非接觸、無泄漏、衛生級 | 食品飲料、污水處理 |
3. 選型黃金法則（精準匹配工況）
介質特性：氣體 / 液體、純度、腐蝕性、溫度、粘度、含塵量。
流量精度：一般工況 ±1%、精密制程 ±0.5%、超高純制程 ±0.15%。
壓力等級：低壓≤1500psig、中壓 1500~3000psig、高壓≥3000psig。
通訊需求：模擬信號（0-5V/4-20mA）、數字總線（EtherCAT/Profibus）。
環境要求：防爆等級（Ex d IIC T4）、防護等級（IP65）、安裝空間。
1. 熱式質量流量控制器（MFC）
? SLA5850S1AAB1C2A1（標準型爆款）
流量：0~100slpm（N?）
精度：±0.6%SP
通訊：4-20mA+RS-485
賣點：MultiFlo 支持 10 種氣體切換、*裝機量最大。
? 5850EMB1A1B4B（金屬密封高純型）
流量：0~500slpm（Ar）
精度：±0.5%SP
密封：全金屬焊接，泄漏率≤1×10??sccm
賣點：超高純制程專用、防污染、適配氧氣 / 敏感氣體。
? SLAMF51SJ1AB1G2A1（高壓型）
流量：0~200slpm（H?）
壓力：最高 4500psig
賣點：氫能 / 高壓制程專用、抗高壓沖擊、長期穩定。
2. 科里奧利質量流量計
? CMF 2000-050（液體高精度）
流量：0~500kg/h
精度：±0.15% 讀數
材質：316L 不銹鋼
賣點：直接測質量、溫度壓力自動補償、適配高粘度液體。
3. 壓力控制器 —— 真空 / 高壓核心
? 3750CA2A11ADKAFAA（高壓控制）
壓力范圍：0~1500psig
控制精度：±0.1%FS
賣點：高壓閉環控制、響應快、過壓保護、適配高壓反應釜。
? 2001E7CG4BB1BB（真空計）
測量范圍：1×10??~1000mbar
精度：±0.2%FS
賣點：高真空測量、長期穩定、適配鍍膜 / 熱處理。
4. 變面積流量計 —— 經濟實用
? 2520A4A30SVVT（小流量）
流量：0~30L/min（空氣）
耐壓：4MPa
材質：不銹鋼
賣點：結構簡單、現場直讀、免維護。
三. BROOKS熱銷產品型號
| 品牌 | 型號 | 品名 |
| BROOKS | 2510A2A12BNVT | 流量計 |
| BROOKS | SLA5853S3AAB3C2A1 | 流量控制器 |
| BROOKS | 0254AA2A21A | 電源 |
| BROOKS | QMCC3L1B3A1A1A1MA1C7A1CA | 流量控制器1 |
| BROOKS | QMCC4L1B3A1A1A1MA1C7A1DA | 流量控制器1 |
| BROOKS | QMCC4L1B3A1A1A1MA1C7A1DA. | 流量控制器1 |
| BROOKS | QMCC3L1B3A1A1A1MA1C7A1CA. | 流量控制器1 |
| BROOKS | SLA5853S2DBC2B2A1 | 流量控制器1 |
| BROOKS | SLAMF53S2GAB3K2A2 | 流量控制器1 |
| BROOKS | SLA5851S/1PAB1C2A1 | 流量傳感器 |
| BROOKS | WP-DA80MS Aluminium IE3 | 電機1 |
| BROOKS | 0254AB2A21A | 流量控制器 |
| BROOKS | SLA5850SB1AB1C2A1 | 流量控制器1 |
| BROOKS | 1800030 MP 384 [100PCE] 384 square well micro volume Storage Plate | 儲物盒1 |
四. 希而科公司介紹
1.希而科貿易（上海）有限公司
希而科工業控制設備（上海）有限公司
希而科：德國本土采購，德國倉庫拼單操作，為客戶節約了成本，提高了采購效率。提供*，真正做到了讓客戶服務滿意，采購放心。
地址：上海市浦東新區川沙王橋路999號1034-1035幢
希而科歷史：于1999成立，20多年備件銷售積累，勵志成為國內“零出錯率"歐洲工業自動化儀器儀表，備品備件供應商。希而科經營范圍：工業控制儀器儀表及零部件、機電產品、計算機硬件及配件、通訊器械、汽摩配件、五金交電、金屬材料及制品（鋼材、貴金屬、稀有金屬除外)、建筑裝潢材料（鋼材、水泥除外）、化工原料及產品（除危險品)、紡織品、日用百貨的批發
航班周期：每周安排航班，保證貨物時效，
貨物包裝：長期以來積累了大量貨物運輸包裝經驗，所有貨物均在國內進行二次包裝，規避國內運輸風險。
售后服務：客服，返修集中操作，售后系統確保客戶無后顧之憂。
2.希而科產品分類：
☆傳感器、接近開關、編碼器、PLC、光柵尺、讀數頭
☆控制模塊、繼電器、總線模塊、電極、電容
☆隔離放大器、變送器、逆變器、變頻器、總線模塊、電極、電容
☆流量開關、流量計、液位計、伺服閥、泵閥、濾芯、密封圈、過濾器
☆電機、傳動軸、軸承、夾具、軸套、接頭、剎車片
☆絕緣檢測儀、遠程報警器、水質分析表，數據采集器、溫控儀
3.代理品牌：
Honsberg、Ahlborn、Beck、Proxitron、ADZ、AirCom、AK Regeltechnik、ASA-RT s.r.l.、BTR、EGE、Fischer、FSG、Fuhrmeister、Hennig、Klaschka、Lambrecht、Pantron、PMA、SCHMIDT Technology、Stoerk、Winkelmann、Wiesemann & Theis…
4. 希而科常見熱銷型號
品牌 | 型號 |
Ahlborn | MA56901M09TG8 |
Ahlborn | MH8D46C1K1 |
AirLoc | PRSK240-24/425 |
ARGO HYTOS | RPE3-062X11+C22B-20500E1-1400NA |
ASA-RT | ADP-R |
ASA-RT | ATB-P150/1500/ASNN |
AirCom | R280-04BK15 |
AirCom | R300-020 |
Aerzen | 780008811 |
Honsberg | VD-040GR150(250V AC) |
Honsberg | MR1K-010GM020 |
EGE | S30120,IGM 30120 |
EGE | IGMH 015 GS P31164 |
Beck | 930.87 222511 |
Beck | 930.80 222511 |
Sitema | KR 025 31 |
W&T | 88004 |
heidenhain | 376886-31 |
heidenhain | 689681-13 |
SCHMERSAL | AZ/AZM201-B30-LTAG1P1-SZ |
Minebea | PR 5220/01 |
Proxitron | IKL 015.33 GH |
Elobau | 153V62-3 |
Elobau | 30428112B |
JUMO | 902940/30-8-386-1013-2-475-6-150-104/000 |
Weforma | WE-M 0,5 x 19LAP |
SAHLBERG | 10019771; O-Ring 35 x3 mm |
PMA | D280-112-00090-000 |
LUKAS | DRK2-11/10 order no:79003/8802 |
DMN | Mehrpreis SILIKONFREIE Ausfuhrung |
Bronkhorst | F-201AB-70K-AAD-00-V |
Landefeld | DR 022-01-3 |
GUTEKUNST | D-042F |
GUTEKUNST | D-085C |
Klaschka | HAD-11ms60b2,5-50Y1 |
Rexroth | 4WEH 16 J7X/6EW230N9ETK4/B10 |
WIKA | A-10 57362436 |
BC-Systemtechnik | BC-DSHB 016 Mining / BC-DSPB 01 6 Mining |
fey | FK6-ASD-70 |
DANLY | D91004210 |
BAMO | MAGTOP G5 F3 H |
SCHISCHEK | Installation-Kit-1.3 |
Frizlen | GWAD320X120-15 |
motrona | GV204 |
DANLY | D90604110 |
SIEMENS | 6MF1011-0CD00-0AA0 |
Heraeus | 78615UV |
HEGENSCHEIDT | 1016296-4-10-Z |
Baumer | 11170160 POG9 DN 600I |
BARKSDALE | 0417-715,8241-PL1-B-D-LH-PC-GE380 |
STASTO | BRU200-HT |
UNIMOTION | SMT 65 TP KNO Mat.Nr.74074 |
hydac | DRV-12-01.X/0 |
hydac | 0330 D 010 SN |
fischer | DE2802N282CL0000 |
fischer | NK105000000100S0U1108 |
W&T | 57707 |
Schmidt | CPS 10.2 ?6 ?8, 20134 |
Schneider | XS612B4PAM12 |
Spieth | MSR 30x1.5 |
TWK | SWF 5b-01 L=5M |
Landefeld | WHM 30 |
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