操作流程：

1、樣品制備

導電樣品：粘導電膠；

絕緣樣品：噴金/碳膜，或開啟設備低真空模式；樣品尺寸不超過樣品臺行程。

2、抽真空
裝入樣品→關閉氣鎖→分子泵抽至目標真空，真空不達標嚴禁開電子槍。

3、燈絲啟動
逐步提升燈絲加熱電流至飽和點（飽和亮度不再上升），做電子槍對中、消像散校準。

4、形貌觀測
選定加速電壓、調節束斑、聚焦，SE 模式拍形貌；切換 BSE 做成分襯度。

5、EDS 元素測試
穩定束流采集能譜，做元素點掃/線掃/面掃。

6、關機流程
先關燈絲加熱→冷卻電子槍→釋放樣品腔真空→取出樣品→依次關閉真空泵、整機電源。

鎢燈絲掃描電鏡的應用場景：

‌材料研發‌：金屬、陶瓷、高分子材料的微觀形貌觀察，斷口分析，晶粒尺寸測量。

‌高校科研教學‌：滿足本科生、研究生常規實驗教學和基礎研究需求，使用成本低。

‌工業質檢‌：電子元器件、機械零件失效分析，粉體顆粒形貌觀察，尺寸統計。

‌地質礦產‌：礦物晶粒形貌觀察，巖石結構分析。