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隨著芯片制程進(jìn)入納米級(jí),晶圓表面的潔凈度直接決定了產(chǎn)品的良率。即使是一層肉眼看不見的油污或氧化物,也可能導(dǎo)致后續(xù)光刻膠涂布不均或電路斷裂。在這一領(lǐng)域,水滴角測(cè)定儀已成為QC環(huán)節(jié)的“守門員"。
在半導(dǎo)體制造中,晶圓表面必須處于“超親水"或特定的潔凈狀態(tài)。通過(guò)使用德優(yōu)特品牌的高精度水滴角測(cè)定儀,工程師可以快速檢測(cè)去離子水在晶圓表面的接觸角。如果接觸角偏大,說(shuō)明表面存在有機(jī)污染物,需要進(jìn)行等離子清洗。反之,接觸角極小(接近0°)則代表表面極度潔凈。
此外,在PCB電路板和顯示面板行業(yè),水滴角測(cè)定儀用于檢測(cè)助焊劑或?qū)щ娿y漿的潤(rùn)濕性。承德優(yōu)特檢測(cè)儀器制造有限公司研發(fā)的德優(yōu)特系列設(shè)備,配備了大尺寸樣品臺(tái),能夠直接放置300mm甚至更大的晶圓或面板進(jìn)行測(cè)量,無(wú)需切割樣品,極大提升了檢測(cè)效率。這正是國(guó)產(chǎn)精密儀器在制造領(lǐng)域的價(jià)值體現(xiàn)。
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