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小測量半徑:2µm小測量楔角:20°小測量粗糙度(Ra):80nm小測量粗糙度(Sa):50nm大掃描高度:25mm大操作距離:17.5(5×物鏡)大擴展視野范圍:2500mm2垂直分辨率:20nm大單一方向測量范圍:50mm位移范圍(X/Y):50mm×50mm(自動調節(jié))位移范圍(Z):130mm(26mm自動調節(jié))
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