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激光共聚焦顯微鏡OLS4100

閱讀：2761 發布時間：2019-1-30

更大的樣品范圍

輕松檢測85° 尖銳角

有尖銳角的樣品（剃刀）	采用了有著高N.A. 的物鏡和光學系統（能大限度發揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。
LEXT 物鏡	使用物鏡時的小象差

高度分辨率10 nm，輕松測量微小輪廓

(MPLAPON50XLEXT)
高度差標準類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測量中的檢測

由于采用405 nm 的短波長激光和更高數值孔徑的物鏡，OLS4100 達到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結合高度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開的I-Z 曲線（請參閱第23 頁），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

克服反射率的差異

鉆石電鍍工具
物鏡：MPLAPON50XLEXT

OLS4100 采用了雙共焦系統，結合高靈敏度的探測器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。

適用于透明層

多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區域，并將各層設為焦點，這樣即可實現對透明樣品上表面的觀察和測量，而且也可以對多層樣品的各層進行分析和厚度測量。

觀察／測量透明材料的各個層
多層模式可實現對透明樣品的頂部的透明層進行觀察和測量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層，也可測量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
Observation/Measurement of Multiple Layers of Transparent Material

工業領域* 的兩項性能保證

正確性和重復性

通常表示測量儀器的測量精度的，有2 個指標："正確性"，即測量值與真正值的接近程度，和"重復性"，即多次測量值的偏差程度。OLS4100 是業界同時保證了"正確性"和"重復性"的激光掃描顯微鏡。

追溯體系

OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內完成，并按照一系列嚴格的標準進行全面的檢驗并確保產品的質量后方才出廠。交付產品時，由選拔出來的技術人員，在實際使用環境中執行校正和后的調整。

更多的測量類型

高度測量

可以測量輪廓截面上任意兩點之間的高低差異。
輪廓測量也同樣可用

表面粗糙度測量

可以測量線粗糙度，以及平面整體的面粗糙度。

面積／體積測量

根據設置在輪廓截面上的任意閾值，可以測量其上部或下部的體積。

粒子測量 (選購件)

可以通過分離功能使粒子自動分離，設置閾值，根據ROI 設置檢測范圍。

幾何測量

可以測量影像上任意兩點之間的距離。還可以測量
任意區域的面積。

膜厚測量 (選購件)

可以根據測出的對焦位置，測量透明介質的膜厚。

自動尋邊測量 (選購件)

可以自動尋邊，測量線寬和圓，減少人為的測量誤差。
OLYMPUS Stream (選購件)
工作流程解決方案，實現了的圖像分析性能
對于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級別的測量，可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件，該軟件可以從OLS4100 直接上傳。
更的粗糙度測量
LEXT OLS4100 參數
作為表面粗糙度測量的新標準，奧林巴斯開發了LEXT OLS4100。對LEXT OLS4100 進行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結果。另外，還搭載了粗糙度模式，可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離長為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測量儀相同的表面輪廓參數，因此具有相互兼容的操作性和測量結果。

截面曲線	Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr
粗糙度曲線	Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75
波動曲線	Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr
負荷曲線	Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
基本圖形	R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte
粗糙度 (JIS1994)	Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp
其他	R3z, P3z, PeakCount

適應下一代參數
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）參數。通過評估平面區域，可以進行高可靠性的分析。

振幅參數	Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa
功能參數	Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp
體積參數	Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc
橫向參數	Sal, Str

• LEXT OLS4100 與表面粗糙度測量儀的結果相兼容。
微細粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測量儀，無法測量比探針的針尖直徑更細微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑，所以能夠對微細形狀進行高分辨率的粗糙度測量。

非接觸式測量
使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會粘在探針上，無法得到正確的測量結果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會影響樣品的表面狀態，可以準確的測量樣品
的表面粗糙度。

高分子薄膜3D 影像（上）和粗
糙度測量結果（左）

柔軟的
帶有粘性的樣品微米級特征的測量
使用接觸式表面粗糙度測量儀，其探針無法進入微米級的區域，所以不能對這些區域的特征進行測量。而OLS4100 可以正確定位，能輕松測量出特定微小區域的粗糙度。

焊線

高畫質影像清晰鮮明的3D 彩色影像
三種類型的綜合影像

真彩3D 影像

LEXT OLS4100 可以同時獲取三種不同類型的影像信息：真彩3D 影像、激光全焦點3D 影像和高度信息影像。

激光全焦點3D 影像

高度信息影像

再現自然色
OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像，所得影像可以與的光學顯微鏡相媲美。

2D 彩色影像（紙張上的墨點、物鏡20x）

3D 彩色影像（紙張上的墨點、物鏡20x）

更加真實地再現表面, 激光DIC（激光微分干涉）
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對比，從而實現對微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式，即使是低倍率的動態觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

無DIC 的激光影像（高分子薄膜）	有DIC 的激光影像（高分子薄膜）
無DIC 的激光影像（5x 物鏡）高度差標準類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany	有DIC 的激光影像（5x 物鏡）高度差標準類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 實際高度：6 nm

亮度和對比度之間更加優化的平衡, HDR（高動態范圍）影像
OLS4100 的高動態范圍（HDR）功能結合了多張以不同曝光率獲取的光學顯微鏡影像，并且分別控制著亮度、對比度、紋理和飽和度，因此HDR 可以以寬動態范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對紋理不明顯的樣品的彩色影像進行清晰地觀察。

無HDR 的彩色影像
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

有HDR 的彩色影像
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

穩定測量和成像環境

復合減震機構

為了排除來自外部的影響，穩定測量和成像，OLS4100 機座內置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復合減震機構"以穩定操作環境。所以，可以把OLS4100 放在普通的桌子進行測量作業，不需要的防震平臺。

直觀的GUI 實現系統化的工作流程簡易的三步流程
使用LEXT OLS4100，只需將樣品放置在載物臺上之后即可立即開始觀察／測量。由于采用了簡易的三步流程——成像、測量和報表——即使用戶不熟悉激光顯微鏡，也可以快速掌握測量的流程。

快速的宏觀圖拼接

掃描大面積區域時有兩種拼接方法可用：獲取實時影像時的手動模式和快速獲取影像時的自動模式。操作非常快速簡單——2D 拼接只需一鍵操作即可開始，并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動模式下有五級拼接尺寸可用，分別為：3×3、5×5、7×7、9×9 和21×21。對于影像上不需要的部分，可以使用簡單的鼠標或控制桿操作手動刪除。

用于簡易3D 成像的智能掃描
自動3D 影像獲取
傳統的3D 掃描需要復雜的設置，這對新手來說非常困難。LEXT OLS4100 采用了的智能掃描模式，即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設置，系統也會根據要獲取的影像自動設置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得的高度測量和的影像。
3D 成像

自動亮度控制

大大縮短了獲取時間

更快的掃描速度
新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統快速模式的2 倍，約是精細模式的9 倍。因此，對于那些需要非常精細的Z 軸移動和*的放大倍率的樣品，該模式就非常地適用，例如對刀具的進行檢測。
相同時間內獲取的影像數量：

實際的掃描時間根據所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。
只在所需區域進行高速獲取
OLS4100 還配備了帶寬掃描模式，用于測量有限的目標區域，測量性能比傳統模式快1/8。