深耕電子特氣檢測領(lǐng)域,明尼克色譜中心六氟化硫(SF6)主組分及雜質(zhì)(CF4、C2F6、SO2F2、C3F8、O2、N2、CO)分析項目順利落地。
六氟化硫既是電力絕緣核心介質(zhì),也是半導(dǎo)體蝕刻關(guān)鍵電子特氣。產(chǎn)品品質(zhì)管控重點緊盯水解產(chǎn)物、空氣雜質(zhì)、氟化物衍生物等關(guān)鍵組分,精準(zhǔn)微量分析,是保障電力設(shè)備安全、芯片制程穩(wěn)定的重要基石,明尼克色譜中心持續(xù)深耕高純SF?全套檢測解決方案。
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