一、前期準備與管路連接階段

設備啟動前，先通過專用高壓軟管，將設備的真空接口、充氣接口分別與被充 SF6 電氣設備的氣室接口可靠連接，同時將 SF6 氣瓶與設備的充氣進氣口對接，檢查所有閥門處于關閉狀態，確認管路無泄漏、接口密封完好。此階段為后續抽真空和充氣建立密閉通路，避免氣體泄漏或空氣混入，是保障操作安全與氣體純度的基礎。

二、抽真空階段（核心除雜步驟）

1. 開啟設備控制系統，設定目標真空度（通常需達到 1.33×10?1Pa 及以下，滿足高壓電氣設備真空標準），打開真空管路閥門，啟動真空泵組（含旋片真空泵 + 羅茨真空泵，提升抽真空效率與極限真空度）。

2. 真空泵運行時，通過管路抽取被充設備氣室內的空氣、水分、殘留雜質氣體，氣體經真空泵排氣口排出（或經凈化處理），真空計實時監測氣室真空度，數據同步反饋至控制系統。

3. 當真空度達到設定值后，設備自動停止真空泵，關閉真空管路閥門，保持氣室真空狀態（防止空氣回流），必要時可進行真空保壓（靜置數小時），確認真空度無明顯回升，判斷氣室密封良好、無泄漏，完成除雜預處理。

三、SF6 氣體凈化與填充階段

1. 打開 SF6 氣瓶閥門與設備充氣管路閥門，SF6 氣體在氣瓶壓力作用下進入設備內部，先通過干燥過濾器、分子篩凈化裝置，去除氣體中的水分、油分、顆粒雜質，確保填充氣體純度≥99.99%（符合電力行業標準）。

2. 凈化后的 SF6 氣體經充氣管路進入被充設備氣室，設備內置精密壓力表、壓力傳感器實時監測充氣壓力，控制系統根據預設額定壓力（如 GIS 氣室 0.6MPa、斷路器 0.45MPa，依設備型號而定）自動調節充氣速度。

3. 當氣室壓力達到額定值時，控制系統自動關閉充氣閥門與 SF6 氣瓶閥門，停止充氣，避免過充導致設備內部壓力超標，同時防止氣體浪費。

四、保壓查漏與收尾階段

1. 充氣完成后，關閉所有管路閥門，斷開設備與被充設備的連接（或保持連接），觀察氣室壓力變化，進行保壓測試（通常保壓 24 小時），若壓力無明顯下降（波動≤0.01MPa），說明氣室密封合格，無 SF6 氣體泄漏。

2. 若壓力下降超標，設備可配合檢漏儀（如鹵素檢漏儀）輔助排查泄漏點，處理后重新抽真空、充氣，直至保壓合格。最后清理管路、整理設備，完成整個抽真空填充操作，確保被充 SF6 電氣設備滿足投運條件