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日本東京計裝氣體用熱式流量計技術參數
閱讀：2253 發布時間：2019-10-17
TH熱流量計是基于熱傳導理論的東京儀表原創的氣體用熱式流量計。 為了支持各種用途，傳感器可支持公稱直徑1~1500A。
另外，轉換器從適合使用用途的單功能型到高功能型，備有各種產品。 (熱流量計將傳感器和轉換器組合使用)
產品系列和概略規格
可進行不受壓力及溫度變動影響的質量流量測量
從低流速范圍到高流速范圍在廣范圍內具有實用測量精度
無可動部、高耐久性
0.1kPa以下的低壓力損失( TH-1600/TH-1800系列除外)
整流器組裝型幾乎不需要上游側直管部( TH-1800系列及TH-1200+選購整流器)
從-196℃的超低溫到+550℃的超高溫，可廣泛應對
帶凈化功能檢測器可對應含有灰塵霧沫的生產線
主要用途
半導體制造設備(氣體管線)
空調管線
醫用氣體供給管線
低壓氣體管線
垃圾焚燒設備生產線
一般配管插入型傳感器(1)
| 形式 | TH-1100戰斗機 | TH-1400戰斗機 | TH-1100-SP/ th-3200戰斗機 |
|---|---|---|---|
| 外觀 |  |  |  |
| 特點類型 | 插入型 | 插入型(插入長度可變) | 插入型、帶清除功能 中溫用/高溫用 |
| 進程連接 | 配管噴嘴法蘭 (標準32AJIS10K ) | 配管噴嘴法蘭 (標準40AJIS10K ) | 法蘭連接 (標準6JIS10K ) |
| 配管口徑 | 50A~350A 選擇項400A ~1500A | 50A~350A 選擇項400A ~1500A | 150A~1500A配管插入型 |
| gao使用溫度分類 | 80℃/180℃/240℃ | 80℃/180℃ | 80℃/240℃/550℃ |
| zui高使用壓力 | 1.0MPa | TH-1100-SP: 1.0MPa TH-3200-SP: 0.1MPa | |
| 流量范圍 | 小:空氣0~45m/h ( nor ) 大值:空氣0~681490 m/h ( nor ) | 小:空氣0~120/0~255 m/h ( nor ) 大值:空氣0~391840/0~391800 m/h ( nor ) | |
| 檢測器材質 | 檢測器: SUS304、SUS316、SUS316L 傳感器: SUS316 密封:氟橡膠及其他 | ||
| 形式 | TH-1200戰斗機 | TH-1700戰斗機 | TH-1800戰斗機 |
|---|---|---|---|
| 外觀 |  |  |  |
| 特點類型 | 內聯型 法蘭連接型 | 小~中口徑在線型 法蘭連接型 | 小~中口徑在線型 整流器組裝型 |
| 進程連接 | 配管法蘭連接 (標準JIS10K ) | 配管法蘭連接 (標準JIS10K ) 或Rc螺紋 | |
| 配管口徑 | 50A ~ 150A | 1 ~ 50A | |
| zui高使用溫度分類 | 80℃/180℃ | ||
| zui高使用壓力 | 1.0MPa | ||
| 流量范圍 | 小值: 空氣 大值: 空氣 小值: 空氣 大值: 空氣 | 小值: 空氣 大值: 空氣 | 小值: 空氣 大值: 空氣 |
| 檢測器材質 | 檢測器: sus 304 sus 316 sus 316 l 傳感器: SUS316 密封:氟橡膠及其他 | 檢測器: SCS 14 sc s 16 sus 304 sus 316 sus 316 l 傳感器: SUS316 密封:氟橡膠及其他 | |
高品位傳感器
接觸氣體金屬部實施復合電解研磨，采用金屬密封。
適合要求非粒子、低泄漏的半導體氣體工藝。
| 形式 | TH-1100-HQ | TH-1500-HQ |
|---|---|---|
| 外觀 |  |  |
| 特點類型 | 插入型 (特殊法蘭噴嘴) | 小~中口徑串聯型、配管焊接 (高品位傳感器) |
| 進程連接說明 | 配管噴嘴法蘭 (特殊法蘭噴嘴) | 工藝管道焊接 |
| 配管口徑 | 50A~100A | 1~2 |
| zui高使用溫度 | 120℃ | |
| zui高使用壓力 | 1.0MPa | |
| 流量范圍 | 小:空氣0~50m/h ( nor ) 大值:空氣0~3355 m/h ( nor ) | 小:空氣0 ~ 260 L/min(nor ) 大值:空氣0 ~ 4075L/min(nor ) |
| 檢測器材質 | 檢測器: SUS316L復合電解研磨(表面粗糙度Rmax. 0.7μm以下) 傳感器: SUS316、kovar ( ni、co合金)、氧化鋁陶瓷、金焊、 鍍鎳的組合 金屬表面機處理( BA ) 密封:主體部金屬o形圈( PTFE被復) 傳感器部SUS316 | |
| He泄漏性能 | 1×10-10 PAM/s以下 | |
高低溫傳感器
復蓋高溫用zui高550℃、低溫用低-196℃的熱流量計。
有高溫用TH-3200和低溫用TH-3300的檢測器。
| 形式 | TH-3200戰斗機 | TH-3300戰斗機 |
|---|---|---|
| 外觀 |  | |
| 特點類型 | 插入型、高溫低壓用 | 插入型、低溫低壓用 |
| 配管口徑 | 6 ~ 1500A | |
| 使用溫度范圍 | 0 ~ 550℃ | -196 ~ 0℃ |
| zui高使用壓力 | 0.1MPa | |
| 流量范圍 | 小:空氣0~60m/h ( nor ) 大值:空氣0~388900 m/h ( nor ) | |
| 檢測器材質 | 檢測器: SUS304、SUS316、SUS316L 傳感器: SUS316L | |
形式 | TRX-600戰斗機 | TRX-700戰斗機 | TRX-900戰斗機 |
|---|---|---|---|
| 外觀 |  |  |  |
| 可組合 傳感器 | TH-1100戰斗機 TH-1200戰斗機 TH-1400戰斗機 TH-1700戰斗機 TH-1800戰斗機 TH-1100-HQ TH-1500-HQ TH-3200戰斗機 TH-3300戰斗機 th-1100戰斗機 th-3200戰斗機 | TH-1100戰斗機 TH-1200戰斗機 TH-1400戰斗機 TH-1700戰斗機 TH-1800 TH-1100-HQ TH-1500-HQ | |
| 特點 | 一般類型 現場掛載 | 智能類型 室內面板安裝 | 智能類型 現場掛載 |
| 外殼結構 | 相當于IP65 | 相當于IP20 | 相當于IP54 |
| 顯示 | 上段:瞬時流量6位LED 下段:累計流量8位LED | 上段:瞬時流量5位LCD 下段:累計流量7位LCD | |
| 輸出 | 模擬: DC4 ~ 20mA 累計脈沖:開路集電極 數字: RS-485 | ||
| 搭載功能 | 標準:自我診斷功能 可選:溫度補償 | 標準:自我診斷功能 選購件:溫度壓力補償 | |
| 電源 | a c100、110、115 v±10 % AC 200、220、240 v±10 % | AC90~264V 50/60Hz | |
| 精度 | 2.0% F.S.±1digit | 1.0% F.S.±1digit | |
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