CaF? 氟化鈣 248nm 光學晶體板 完整參數 + 功能特點
一、基本參數
材質：氟化鈣單晶 CaF?，適用波長248nm
晶體取向：<111> 晶向
外形尺寸：20.0×12.0×12.0 mm 雙面平行平片
尺寸公差：長寬 / 厚度 0~-0.1mm
表面粗糙度：精磨面 Rq=2μm
防護倒角：0.5mm 全周倒角
二、核心材質特性
紫外深紫外超高透過
氟化鈣是248nm KrF 準分子激光窗口 / 分光基底材料，248nm 波段透過率，無吸收、無熒光、耐紫外輻照老化。
單晶結構 <111 取向
光學均勻性優，應力極低，激光傳輸無畸變，適合高能紫外光路。
物理穩定性強
熱膨脹系數小、導熱好，抗激光熱沖擊，不易炸裂；耐高低溫、耐化學腐蝕。
無本征雙折射
偏振光路、激光諧振腔、光束整形均可穩定使用。
三、結構工藝特點
雙面平行平片（plan-plan）
平行度高，用作激光窗口、隔離片、濾光基片、光路墊板精度達標。
嚴格負公差加工
裝配貼合緊密，無松動，適配精密激光腔體卡槽安裝。
Rq 2μm 精磨表面
非拋光、工業精磨級，不做高透光拋光，多用于內部光路支撐、遮光墊板、結構透光襯板、激光腔體隔離板。
0.5mm 防護倒角
防止安裝崩邊、磕碰破損，裝機安全性高。
四、適用場景
KrF 準分子激光系統 248nm 專用
激光腔體內部透光隔板、光路隔離板、氣體腔觀察窗。
深紫外紫外光學實驗、光刻配套光路
激光設備內部結構透光基板、防塵透光擋片
紫外光譜儀、紫外檢測設備光學基材
高能紫外環境下替代石英玻璃，抗紫外老化遠優于熔石英
五、使用優勢
248nm 深紫外波段透過性能遠超普通石英
單晶 < 111 取向光學一致性好，光路偏移小
精磨面成本低、實用性強，適合設備內部非成像類透光結構
尺寸規整易固定，全周倒角適配自動化 / 精密設備裝配
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