半導(dǎo)體與微電子制造

PKL 防水防護(hù)直線電機(jī)導(dǎo)軌、高度滾柱滑軌，用于晶圓搬運(yùn)平臺(tái)、芯片檢測(cè)工位、半導(dǎo)體封裝設(shè)備，無間隙預(yù)緊滾柱結(jié)構(gòu)杜絕微位移偏差，適配無塵車間潔凈工況。

（一）F?hrenbach手動(dòng)燕尾槽滑軌系列（SO/SE/SS/SM/SK/SH）

SO 系列（開放式燕尾滑軌）

基礎(chǔ)開放型結(jié)構(gòu)，無端部擋板，安裝靈活，可自由加裝限位、氣缸、微調(diào)配件；標(biāo)準(zhǔn)寬度 30–400mm，行程 35–1800mm，通用工裝基準(zhǔn)滑軌。

SE 系列（帶端板燕尾滑軌）

兩端配備限位端板，預(yù)留安裝孔位，可直接裝配限位塊、千分尺、小型氣缸，適合固定行程限位微調(diào)工位。

SS 系列（絲桿驅(qū)動(dòng)數(shù)顯燕尾滑軌）

內(nèi)置精密梯形絲桿，75mm 及以上規(guī)格標(biāo)配外置數(shù)字位置顯示器，多角度可視讀數(shù)，快速精準(zhǔn)定位，批量檢測(cè)工裝型號(hào)。

SM 系列（千分尺微調(diào)燕尾滑軌）

滾花紋千分尺旋鈕，標(biāo)準(zhǔn)刻度 0.02mm，75–200 規(guī)格可選 0.01mm 刻度，微量微調(diào)，光學(xué)鏡頭、顯微鏡載臺(tái)用。

SK 系列（十字手搖柄燕尾滑軌）

十字曲柄手搖驅(qū)動(dòng)，300mm 大行程規(guī)格加裝手輪，適合長行程手動(dòng)往復(fù)調(diào)節(jié)，焊接工裝、檢測(cè)治具。

SH 系列（刻度手輪燕尾滑軌）

環(huán)形刻度手輪，標(biāo)準(zhǔn)分度 0.02mm，75–400 規(guī)格可選 0.01mm 刻度，操作順滑，重復(fù)性微調(diào)工位。

（二）F?hrenbach手動(dòng)滾柱軸承滑軌系列（RO/RE/RS/RM/RK/RH/RA）

同尺寸匹配燕尾滑軌安裝孔位，可互換裝配，預(yù)緊 V 型滾柱消除間隙，摩擦阻力更低：

RE/RS：絲桿驅(qū)動(dòng)滾柱滑臺(tái)，RS 集成數(shù)顯讀數(shù)；

RM：千分尺微調(diào)滾柱款，高微量定位；

RK/RH：手搖柄 / 刻度手輪長行程滾柱滑軌；

RA：全密封防塵防水特殊密封款，配備毛氈 / 尼龍刮屑板，適用于粉塵、切削液輕度污染環(huán)境。

（三）F?hrenbach絲桿驅(qū)動(dòng)電動(dòng)導(dǎo)軌滑臺(tái)系列

KBS/KCS 球套導(dǎo)軌滑臺(tái)

V 型軸支撐滾珠結(jié)構(gòu)，緊湊型高彎矩承載，體積小、抗扭轉(zhuǎn)，小型自動(dòng)化模組。

PFS/PCS 型材導(dǎo)軌電動(dòng)滑臺(tái)

鋁合金型材底座，標(biāo)準(zhǔn)鈑金防護(hù)罩，通用機(jī)床、自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備。

MR/MS 重載電動(dòng)滑臺(tái)

MS 電動(dòng)燕尾導(dǎo)軌、MR 電動(dòng)滾柱導(dǎo)軌，100–400mm 寬重載規(guī)格，重型工裝、非標(biāo)專機(jī)。

（四）F?hrenbach直線電機(jī)精密導(dǎo)軌滑臺(tái)（PFL/PCL/PKL）

三大防護(hù)型號(hào)，導(dǎo)軌采用高精度型材導(dǎo)向，底座可選鋁合金、鑄鐵 GG25、鋼材 C45：

PFL：風(fēng)琴伸縮防護(hù)罩，防塵通用型，實(shí)驗(yàn)室、光學(xué)檢測(cè)主流型號(hào)；

PCL：金屬鈑金封閉式防護(hù)罩，防塵防水，自動(dòng)化產(chǎn)線；

PKL：冷卻液防護(hù)結(jié)構(gòu)，適配磨削、切削帶乳化液工況機(jī)床。

精度高 Ultra-Precision plus 等級(jí)，重復(fù)定位精度 0.5μm。