真空閥門的定義和作用
真空閥門是在真空系統中用來隔離(切斷)氣流、調節氣流流量、分配氣流的真空元件。種類繁多的真空裝置(亦稱真空工程設備)都離不開真空系統。真空閥門不論在簡單或復雜的真空系統中都占有重要的地位。
通常在真空系統設計時,要根據真空裝置的要求和真空系統的特點來選擇不同類型的真空閥門。例如,真空放氣閥,是用來給真空系統放入大氣用的。真空裝置完成真空作業后,若要更換工件或取出樣品,必須將大氣放入真空室,使真空室大門兩側沒有壓差,才能打開大門進行工件更換。而針閥是向真空系統中充氣,并能調節氣體流量的真空閥門。
真空閥門常用于真空泵抽速測量、真空鍍膜、離子束刻蝕、受控熱核反應裝置等真空系統上,提供精確調節的氣體流量,用以獲得穩定的工藝要求的真空度;高真空擋板閥、高真空插板閥,常用于主抽氣泵的進氣口上,用來隔離真空泵,使之不暴露于大氣之中。高真空蝶閥可裝于真空室,真空管道與真空泵之間,用以接通和隔離(截止)氣流。閥門設計不應當漏氣、發生機械、電氣故障等。
需要糾正一下國內電站閥門存在的錯誤叫法,在電站閥門中,通常將填料部分帶水封裝置的閥門前面冠以“真空”,如真空閘閥、真空截止閥等。而事實上,這些閥門的介質壓力都很高,有的閥門壓力高達10MPa,這是一種錯誤的叫法,應當予以糾正。
選用真空閥門時主要應注意的事項如下:
1、所應用的真空區域;
2、關閉時閥門兩邊所承受的壓力差;
3、閥的漏率;
4、能承受的烘烤溫度;
5、能承受的環境溫度;
6、以開啟/封閉次數計的壽命;
7、如為超高真空金屬閥,還需知道其允許的升溫率和降溫率。
真空閥門設計原則一般應有以下幾點:
1、閥門的密封性能要好,不但閥板封閉處漏氣速率要小,而且閥體的漏氣速率要小;
2、閥門密封部件耐磨性要好,特別是閥座與閥板密封部件要能反復使用,壽命長;
3、閥門的通導能力要大;
4、閥門材料應具有低飽和蒸汽壓、高耐蝕能力和高化學穩定性;
5、超高真空閥門應耐烘烤,烘烤溫度一般不低于150℃,gao450℃;
6、閥門結構要簡單,造型美觀大方,開關輕便靈活,開關狀態應有標識,大型閥門應有起吊裝置,操作方便,維修容易;
7、閥門零部件加工工藝性要好,表面處理工藝*,閥門連接法蘭應符合真空法蘭國家標準要求。
真空閥門通常根據閥門的工作特性、傳動原理、連接方式和用途等進行分類。
根據工作壓力分:低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門。
根據用途分:截止閥、隔離閥、充(放)氣閥、節流閥、換向閥、封閉送料閥等。
根據傳動原理分:手動閥、手電兩用閥、電磁閥、氣動閥和液動式真空閥。
根據材料分:玻璃真空活塞(考克)、金屬真空閥。
根據結構特點分:擋板閥、翻板閥、蝶閥、球閥、連桿閥、隔板閥、閘閥、雙通閥、三通閥、四通直通閥和直通閥等。
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