善準科技分子泵機組MPU-90i：開啟超高真空應用新篇章

時間：2026/5/12閱讀：121

　　在現代科學研究與高檔制造領域，真空技術作為基礎支撐手段，其性能優劣直接影響著實驗數據的準確性與工業產品的品質。隨著半導體、新能源、生物醫藥等產業的快速發展，對高真空乃至超高真空環境的需求日益迫切。廣州善準科技有限公司推出的分子泵機組MPU-90i，正是為滿足這一市場需求而研發的創新型產品，以其出色的性能、簡便的操作和廣泛的應用適應性，成為眾多科研機構和工業用戶的理想選擇。

　　一、一體化設計，提供超高真空一站式解決方案

　　MPU-90i并非單一的真空泵，而是一套高度集成的真空系統。它巧妙地將渦輪分子泵、前級泵和全量程真空規三大核心部件整合于一體，并配備了智能化的觸摸屏控制系統。這種一體化設計，省去了用戶自行選型、組裝和調試的繁瑣過程。出廠前，設備已完成所有部件的安裝、連接及嚴格的氣密性檢測，用戶只需進行簡單的外部管路連接，即可快速投入使用，極大地縮短了設備部署周期，降低了使用門檻。

　　二、出色性能，滿足嚴苛應用需求

　　MPU-90i的核心優勢在于其能夠穩定獲得并維持一個真空環境。其極限真空度可達10??Pa量級，這一指標足以滿足絕大多數超高真空應用場景的要求。無論是需要較高潔凈度的半導體晶圓加工，還是對背景真空有嚴苛要求的掃描電子顯微鏡（SEM）和透射電子顯微鏡（TEM），MPU-90i都能提供可靠保障。

　　設備內置的全量程真空規，測量范圍覆蓋從大氣壓（1×10?Pa）到超高真空（1×10??Pa），并通過垂直安裝確保了測量的精準性。用戶可以通過觸摸屏實時、直觀地監控真空度的變化，所有數據一目了然。這種集成化的設計，為用戶提供了從粗抽到高真空獲得的完整解決方案。

　　三、智能操控，定義簡易安全新標準

　　MPU-90i在人機交互方面進行了創新性優化，改變了傳統真空設備操作復雜、專業性強的印象。其配備的觸摸屏提供中英文雙語操作界面，即使是非專業人員也能快速上手。通過簡單的觸摸操作，即可實現分子泵和前級泵的一鍵啟動與關閉，整個抽氣過程自動化完成，無需人工干預。

　　更為重要的是，設備內置了“IL智能化控制程序”。這套專屬軟件能夠智能監測系統狀態，有效防止因誤操作（如在真空度不足時啟動分子泵）而導致的核心部件損壞。這種智能化的安全防護機制，不僅保護了設備本身，更確保了用戶實驗或生產過程的連續性和安全性。

　　四、一機兩用，實現高性價比靈活配置

　　MPU-90i的另一大亮點是其“一機兩用”的靈活性。其內置的前級泵既可以作為分子泵的配套泵，協同工作以獲得超高真空；也可以獨立運行，滿足諸如真空干燥、真空包裝等僅需粗真空環境的應用場景。這種設計極大地拓展了設備的應用范圍，用戶無需為不同的真空需求購置多套設備，從而顯著降低了采購成本和實驗室空間占用，實現了較高的性價比。

　　五、廣泛應用，賦能多領域科研與制造

　　憑借其出色的綜合性能，善準科技MPU-90i已在眾多前沿領域得到廣泛應用。在科研領域，它服務于各大高校及科研院所，成為質譜儀、低溫真空探針臺、原子層沉積（ALD）設備等不可少的配套裝置。在工業領域，它深度參與了真空鍍膜、激光沉積、真空退火以及氦質譜檢漏等工藝流程，為半導體、新能源汽車、鋰電池等戰略性新興產業的發展貢獻著力量。其穩定可靠的性能，已獲得中山大學、核工業西南物理研究院等眾多機構的認可。

　　總而言之，善準科技分子泵機組MPU-90i以其一體化的創新設計、出色的真空性能、智能化的操作體驗以及靈活的配置方式，為用戶提供了高效、便捷、可靠的超高真空解決方案。它不僅是一款功能壯大的真空設備，更是科研探索和產業升級的得力助手，帶領著真空技術向更智能、更便捷的方向發展。

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