在科研實(shí)驗(yàn)室與工業(yè)真空工藝環(huán)節(jié)，穩(wěn)定的真空獲取設(shè)備，直接關(guān)系到實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的重復(fù)性以及加工過程的運(yùn)行狀態(tài)。渦輪分子泵機(jī)組MPU?90i作為集成式真空設(shè)備，把渦輪分子泵、前級(jí)泵與真空規(guī)整合為一體，省去用戶零散采購(gòu)部件、自行組裝調(diào)試的步驟，適配多種需要高真空環(huán)境的工作場(chǎng)景。

　　渦輪分子泵機(jī)組MPU 90i抽氣速率為90L/s，設(shè)備整體重量30kg，外形尺寸490×480×270mm，電機(jī)功率500W，設(shè)備出廠階段已經(jīng)完成裝配與氣密性檢測(cè)，用戶現(xiàn)場(chǎng)完成管路對(duì)接就可以投入使用，降低前期裝配調(diào)試消耗的時(shí)間成本。整套機(jī)組采用無油結(jié)構(gòu)，運(yùn)行過程不會(huì)向真空腔體帶入油類污染物，適合對(duì)腔體潔凈度存在要求的工況，避免碳?xì)錃埩魧?duì)樣品或者工件帶來影響。

　　該機(jī)組可以實(shí)現(xiàn)兩種運(yùn)行模式，前級(jí)泵能夠單獨(dú)開啟，輸出粗真空條件，滿足部分預(yù)處理、腔體脫氣等基礎(chǔ)作業(yè)；當(dāng)前級(jí)泵建立起基礎(chǔ)壓力之后，聯(lián)動(dòng)啟動(dòng)渦輪分子泵，能夠獲得10??Pa等級(jí)的極限真空，覆蓋從粗真空到高真空的區(qū)間，同一臺(tái)設(shè)備應(yīng)對(duì)不同階段的真空需求，減少現(xiàn)場(chǎng)擺放多臺(tái)泵體的空間壓力。設(shè)備搭載全量程真空規(guī)，測(cè)量區(qū)間覆蓋1×10??1×10??Pa，真空數(shù)值通過觸控屏幕直觀展示，方便操作人員隨時(shí)掌握腔體內(nèi)壓力變化情況。

　　操控層面，渦輪分子泵機(jī)組MPU 90i配置中英文觸控交互界面，支持一鍵啟停整套泵組，配套IL智能化控制程序，能夠完成泵體的自動(dòng)啟停邏輯判斷。當(dāng)壓力條件不滿足分子泵開啟條件時(shí)，程序會(huì)做出限制，規(guī)避誤操作帶來的設(shè)備損傷，降低操作人員的學(xué)習(xí)門檻，即便非長(zhǎng)期從事真空設(shè)備運(yùn)維的人員，也可以按照界面提示完成常規(guī)操作流程。設(shè)備預(yù)留通訊接口，可接入整套實(shí)驗(yàn)控制系統(tǒng)，便于融入自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。

　　渦輪分子泵機(jī)組MPU 90i的適用范圍覆蓋多個(gè)行業(yè)方向。高校與科研院所中，常配套掃描電鏡、質(zhì)譜儀器、表面分析設(shè)備，樣品分析過程中，腔體內(nèi)部殘余氣體含量會(huì)干擾信號(hào)采集，該機(jī)組維持的真空條件，可以幫助科研人員得到穩(wěn)定可復(fù)現(xiàn)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。在真空鍍膜、石英管真空封管、退火處理等工藝中，它可以為腔體提供真空環(huán)境，減少空氣成分對(duì)薄膜生長(zhǎng)、材料熱處理過程帶來干擾。同時(shí)在半導(dǎo)體相關(guān)試樣制備、光伏材料研究等工作場(chǎng)景，也有較多實(shí)際使用案例。

　　使用渦輪分子泵機(jī)組MPU?90i過程中，也需要遵循對(duì)應(yīng)的使用規(guī)范。渦輪分子泵依靠高速轉(zhuǎn)子葉片推動(dòng)氣體分子完成抽氣，細(xì)小固體顆粒進(jìn)入泵腔會(huì)對(duì)葉片形成沖擊，因此腔體內(nèi)部要做好顆粒過濾，避免粉塵碎屑倒灌進(jìn)泵體內(nèi)部。設(shè)備對(duì)震動(dòng)存在一定敏感度，擺放位置盡量減少外部震動(dòng)源，定期查看散熱狀態(tài)，保障連續(xù)作業(yè)時(shí)的散熱條件。停機(jī)維護(hù)時(shí)，按照說明完成檢查，及時(shí)排查管路接頭密封狀態(tài)，維持整套真空系統(tǒng)的漏率水平。

　　集成化的設(shè)計(jì)思路，讓渦輪分子泵機(jī)組MPU 90i兼顧性能表現(xiàn)與使用便捷性，不用用戶搭配多件分立設(shè)備，在有限的實(shí)驗(yàn)室空間內(nèi)，搭建起一套完整真空獲取系統(tǒng)。從基礎(chǔ)粗真空預(yù)處理，再到高真空狀態(tài)維持，這套機(jī)組可以承接不同階段的真空任務(wù)，為材料研究、儀器配套、小型真空工藝提供硬件支撐。隨著國(guó)內(nèi)各類真空相關(guān)實(shí)驗(yàn)與工藝項(xiàng)目持續(xù)推進(jìn)，這類一體化分子泵機(jī)組，也會(huì)在更多實(shí)驗(yàn)室與中小型工藝產(chǎn)線中發(fā)揮作用。