國儀量子電鏡采用簡化設計,配備直觀的中文操作界面和適合國內科研人員的操作習慣,有效降低了學生學習難度,減少了操作錯誤。學生們更愿意嘗試,學習效率顯著提升。
——電子科技大學集成電路產教融合創新平臺的涂小明博士
近期,在電子科技大學國家集成電路產教融合創新平臺,涂小明博士負責管理多臺國產和進口電鏡設備,他對國儀量子的SEM5000X場發射掃描電鏡及DB550雙束電鏡表示了極大的認可。
作為全國獲得批準建設的集成電路產教融合創新平臺之一,電子科技大學國家集成電路產教融合創新平臺由國家發展和改革委員會及教育部于2021年共同批準成立,屬于項目。該平臺總投資額超過2.5億元,包含集成電路設計、前端工藝和封裝測試三個主要子平臺,并構建了一條能夠兼容6至8英寸的完整集成電路生產線,擁有0.18微米及以上的晶圓級加工和測試技術。目前,平臺配備了超過150套微納制造、芯片封裝和測量設備,無論是在規模、功能還是產業鏈的完整性方面,都被認為是西南地區高校中規模、功能全面、產業鏈的集成電路公共平臺。
作為對公眾開放的平臺,維持高效穩定的芯片微觀特征描述和分析工具是極為關鍵的。國儀量子公司提供的兩款國產電子顯微鏡——SEM5000X和DB550,發揮著它們在該領域中不可替代的作用。
精確穩定:芯片精細制造的“明察秋毫
在西南地區,集成電路領域的專業化平臺中,對微觀形態特征的描述和測量有著極大的需求。"涂小明博士指出,這兩臺儀器在芯片的微納制造過程中扮演著核心角色,它們主要負責觀察芯片的形態、測量尺寸,以及進行截面分析等重要任務。
SEM5000X由國儀量子自主研發,是一款高分辨率場發射掃描電子顯微鏡。在頻繁使用中,SEM5000X顯示出的穩定性,能夠迅速完成復雜的形貌觀察和納米級尺寸測量工作。DB550雙束電鏡專注于精密截面分析,其自主研發的場發射電子鏡筒和“承影"離子鏡筒,確保了的納米加工和分析效率,對平臺的高效運作發揮了關鍵作用。
涂小明表示:“在頻繁使用中,SEM5000X在精確測量尺寸和觀察微觀結構方面顯示出了的穩定性;DB550雙束電鏡在精密截面分析方面的高效性能,對于平臺的順暢運作極為關鍵。
中文界面:簡化操作流程,鼓勵學生主動實踐
集成電路產業中,杰出人才是推動進步的關鍵因素。該平臺承擔著培養大量急需人才的重要任務。
盡管掃描電鏡和FIB都是精密且價值不菲的科研工具,但過去在使用這些國外設備時,其操作流程的復雜性和英文界面常常使得初學者感到心理壓力,產生了害怕嘗試的心態。
隨著國儀量子SEM5000X和DB550的引入,原先的復雜狀況得到了顯著的改觀。這些國產電鏡通過簡化操作流程,提供了直觀且易于理解的中文界面,以及與中國科研人員的操作習慣高度契合的邏輯,極大地降低了學生掌握這些設備所需的難度。
國儀量子的電鏡產品通過簡化操作流程,配備直觀的中文界面和適應國內科研人員的操作習慣,顯著降低了學生使用的技術障礙,減少了操作失誤的可能性。學生們因此更愿意親自操作,學習進度加快,同時設備的安全性也得到了提升。這對于大學在教學和科研方面的工作提供了極大的助力。學生們克服了對這些高價值設備的恐懼,開始勇于進行探索。涂小明博士對此表示了極大的興奮,并進行了總結。
勇于實踐,是提升實驗教學質量和推動科研創新的關鍵起點。國產電鏡的發展,正逐步引導高校在培養學生方面實現從“基本操作"到“熟練運用、有效應用"的轉變。
服務承諾:24小時在線響應,“隨時待命,確保支持
對于肩負重任的大型公共實驗平臺而言,優質的售后服務與技術支撐是確保平臺順暢運作的核心要素。
國儀量子的售后支持團隊,給涂小明博士留下了超出預期的深刻印象。
在設備管理過程中,遇到技術難題是常有的事。涂小明老師回憶說:“在操作過程中,我遇到了幾次小問題,便馬上聯系了國儀量子的售后服務人員曹工。每次我提出問題后,曹工都能迅速回應,并提供有效的解決方案,確保了服務的連續性和及時性。"他對這種高效的響應表示了高度的贊賞。
他提到,能夠隨時獲得技術支持所帶來的信心,是許多外國設備制造商難以匹敵的。“優質的售后服務和迅速的響應速度,確保了我們科研工作的連續性,為儀器操作者提供了極大的心理安慰。
國儀量子堅守“全心全意,為客戶創造價值"的服務宗旨,努力將的服務送達科研。眾多高校的實際應用案例中,都能看到國儀量子的服務團隊親臨實驗室現場,從設備的安裝調試到全面的技術培訓,再到日常的維護和專業的技術援助,他們提供的服務獲得了科研工作者的普遍認可。
希望國產電子顯微鏡能成為科研工作者深入觀察微觀世界的利器,促進原創性研究,助力中國科學研究的進步。"在訪談接近尾聲時,涂小明博士滿懷深情地表達了對國產電子顯微鏡的美好愿景。
電子科技大學國家集成電路產教融合創新平臺憑借深厚的研發基礎、先進的實驗設施以及對國產科學儀器的大力支持,充分展現了其在服務國家芯片戰略和集成電路產業深度融合中的重要角色。
在集成電路創新的征途上,國儀量子的SEM5000X和DB550雙束電鏡展現了國產精密測量設備與科研儀器的強勁競爭力。它們不僅以的性能贏得了認可,還通過提供優質的用戶體驗,促進了高等教育機構在集成電路領域的創新能力,樹立了校企合作和產教結合的成功案例。
展望未來,國儀量子將不斷深化對用戶需求的理解,憑借先進的技術和周到的服務,助力科研人員深入微觀世界、拓展知識邊界,為國內芯片研究和教育事業注入國產創新的動力。
半導體集成電路領域,優秀人才是發展的核心驅動力。平臺肩負著為國家培養大批緊缺人才的核心使命。
然而,不管是掃描電鏡還是FIB,都屬于極為精密且昂貴的儀器。此前操作進口設備時,復雜的操作邏輯和全英文的界面,往往給剛開始接觸的學生帶來較大的心理負擔和“不敢上手"的畏難情緒。
但這樣的情況在引入國儀量子SEM5000X和DB550后,得到了根本性改善。國產電鏡“去繁就簡",簡潔直觀的全中文界面以及符合中國科研人員使用習慣的操作邏輯,大大降低了學生的學習門檻。
“國儀量子電鏡‘去繁就簡’,簡潔的全中文界面和符合中國科研人員的交互邏輯,大大降低了學生的學習門檻,有效地避免了誤操作。學生敢上手了,學得快了,設備安全也更有保障了,這對于高校開展教學和科研工作來說,幫助很大。學生不再畏懼操作這些昂貴的‘重器’,敢于去探索。"涂小明博士興奮地總結道。
畢竟,敢于上手,才是高質量實驗教學和科研創新的較早步。從“能用"到“好用、會用、善用",國產電鏡正在改變高校的人才培養方式。
服務保障:全天候在線,“隨時隨地有人支持"
對于承擔著高強度實驗任務的大型公共實驗平臺來說,的售后服務和技術支持,是保障平臺平穩高效運行的關鍵所在。
國儀量子的售后服務團隊,在這一點上給涂小明博士留下了遠超預期的深刻印象。
“管理設備中,遇到突發技術問題是很正常的情況。有幾次在操作中遇到了一點小狀況,我立刻聯系了國儀量子售后工程師曹工。好幾次剛把問題發出去,曹工立刻就進行了回復,直接給出了解決的辦法,確實做到了全天候在線服務!"涂小明老師稱贊道。
他也指出,這種隨時隨地有技術后盾支撐的安心感,是很多進口儀器廠商很難企及的。“售后服務好、響應極其及時,保障了我們平臺科研進度的順利推進,讓儀器使用者非常安心。"
國儀量子秉持“鏡心鏡意,成就客戶"的服務理念,致力于把優質服務送至科研一線。在許多高校案例中均可見其服務團隊深入實驗室,開展從設備交付到深度培訓、從日常運維到技術支持的保障工作,贏得了用戶的廣泛認同。
“愿國產電鏡成為科研人員探索微觀世界的銳利之眼,助力自主創新,推動中國科研前行。"采訪的最后,涂小明博士動情地送上了對國產電鏡的祝福。

電子科技大學國家集成電路產教融合創新平臺以的研發積淀、的實驗環境和對國產科學儀器的積極扶持,生動詮釋了服務國家芯片戰略與集成電路產業深度融合的使命擔當。
而在這一進程中,國儀量子SEM5000X與DB550雙束電鏡的出色表現,不僅證明了國產量子精密測量與科學儀器的硬核實力,更通過以服務育人為本的體驗,為推動高校集成電路的可持續創新,打造了校企合作、產教融合的生動范本。
未來,國儀量子將繼續深耕用戶需求,以更專業的技術、更貼心的服務,陪伴每一位科研工作者探索微觀、突破邊界,為中國的芯片科研和人才培養注入來自國產自主創新的澎湃動能。
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