RAMAN
碳化硅(SiC)晶圓全表面
晶體多晶型拉曼成像
BRUKER
借助先進拉曼成像技術,幫助您進行碳化硅(SiC)晶圓中多晶型分析!我們最新的應用說明_R548碳化硅(SiC)晶圓全表面晶體多晶型拉曼成像重點展示了RAMANdrive顯微鏡如何實現全表面的3D成像,以亞微米級精度解析晶體多晶型、應力分布與缺陷情況。
探索這項創新技術如何助力研發適用于惡劣的環境的高可靠性寬禁帶半導體器件。閱讀更多,發掘其在碳化硅(SiC)晶圓分析領域的變革性潛力。
RAMANdrive
拉曼顯微鏡
RAMANdrive 是一款專為晶圓分析設計的超快速、高分辨共聚焦拉曼顯微鏡,它配備了 300 mm 專屬載物臺,確保在整個晶圓范圍內實現卓越的穩定性與精確度。
RAMANdrive 搭載先進的快速拉曼顯微技術,專為推動半導體研發突破而設計,加速創新進程。

300 毫米晶圓載物臺核心特性:
兼容大尺寸晶圓:支持最大 300 mm晶圓,通過連接至細小通道的真空管線穩穩固定。
整片晶圓全覆蓋:激光可覆蓋整個晶圓表面。
適配厚樣品:載物臺深槽設計滿足較厚樣品的分析需求。
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