日本新宇宙 泄漏檢測(半導體用)
一、技術特點:
1.適用于半導體材料氣體的超微量泄漏檢測
2.通過報警燈及蜂鳴器即可得知氣體泄漏
日本新宇宙 泄漏檢測(半導體用)
二、技術參數:
型號 | XP-703D |
檢測原理 | 熱線型半導體式 |
檢測對象氣體 | 半導體材料氣體(砷化三氫、磷化氫、、硅烷等) |
能檢測的泄漏量
能檢測的濃度 | 砷化三氫 AsH3 1.0×10-7 0.2 | 磷化氫 PH3 1.5×10-7 0.3 | 乙PENG烷 B2H6 0.5×10-7 0.1 | 硅烷 SiH4 2.5×10-7 0.5 | 氫氣 H2 5×10-7 Pa·m3 /s 1.0 ppm |
應答時間 | 10秒 |
檢測表示 | 蜂鳴器發出斷續音且報警燈閃爍 |
電源 | 5號錳干電池4節 |
電池使用時間※1 | 使用堿性干電池使用約9小時(使用錳干電池約3小時) |
使用溫度范圍 | 0℃~40℃ |
外形尺寸 | W68×H155×D32mm |
重量 | 約400g(包括電池) |
附件 | 皮套、吸引過濾器、過濾片、檢查氣體、標準輔助橡膠管、5號錳 干電池4本 |
另售的選購品 | Ni-Cd電池充電器、耳機 |