在計量校準、航空航天、精密制造等領域，“亞微米級精度"“零wu差測量"是質量管控的核心訴求。中圖儀器Earth系列亞微米精度三坐標測量機滿足航空級測量標準，固定橋架消除“行走現象"，運動軸解耦，可精準檢測葉片輪廓度、結構件位置度，滿足航空級亞微米測量標準，保障飛行安全。

參數優勢

1. 精度參數：亞微米級精準把控

（1）允許示值誤差MPEE≤(0.6+L/500)μm（L為測量長度，單位mm），遠超移動橋式（1.7μm~3.0μm級別），可達到0.3μm級測量精度；

（2）重復定位精度≤0.2μm，連續24小時運行精度漂移≤0.1μm，滿足高精密測量的穩定性需求；

（3）掃描探測誤差MPE（THP）≤0.5μm，每秒采集1000個數據點，復雜曲面測量精準還原。

2. 結構參數：穩定抗干擾

（1）封閉框架設計：固定橋架與底座剛性連接，形成穩固龍門結構，抗彈性變形能力較移動橋式提升60%；

（2）基體材料：全花崗巖基體，熱惰性大、內應力低，溫度適應范圍20±1℃，溫度梯度控制在0.5℃/h內；

（3）運動軸參數：X/Y/Z軸行程覆蓋600×800×600mm至1500×3000×1200mm，承重300-500kg，運動速度≤500mm/s。

3. 驅動與兼容參數：智能高效適配

（1）重心驅動技術：驅動力精準作用于移動部件重心，加速減速過程慣性偏轉≤0.1μm；

（2）軟件兼容：搭載Power DMIS專業測量軟件，支持ISO/ASME評價標準，可導入IGES/STEP格式CAD文件，導出多格式報告；

（2）接口兼容：支持I++/DMIS國際標準協議，可對接MES、Q-DAS系統，數據流轉高效。

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