減壓閥 · 閥選定指南

推 薦 品 種 ( 氣體供給系統、氣體分配箱)

本指南，對工藝氣體系統，在使用閥及減壓閥時，作為大致的選定。選定前，下記必讀。有關特定品種的詳細介紹及規格，參見樣本的資料。

一次側高壓用閥是安裝在氣瓶柜或大流量供給系統中

的減壓閥的上游側的元件。

■氣路用閥是安裝在氣瓶柜或大流量供給系統中減壓閥的下游 側的元件。另外在分配箱(VMB)及裝置內部的使用場所(POU),一次側高壓用減壓閥的下游側使用。一次側高壓用減壓閥是在氣瓶柜或大流量供給系統上使用的元件。

■氣路用減壓閥是在分配箱(VMB)及裝置內部的使用場所(POU)使用的元件。推薦品種是用于半導體工廠一般使用狀況下的  產品。特定場所的使用狀況，有必要選定不同的品種。

■非液化惰性氣體鋼瓶，其壓力降至1.7MPa時，假設要更換 新的儲氣瓶。因此一次側高壓用減壓閥和一次側高壓用閥的最大推薦流量是設想這些氣體的進口側壓力為1.7MPa時的流量。

■非液化毒性氣體鋼瓶，其壓力到達1.0MPa 時，假設要更換 新的鋼瓶。因此一次側高壓用減壓閥的最大推薦流量是設想這些氣體的進口側壓力為1.0MPa時的流量。

■液化氣體系統的鋼瓶壓是設想維持在16℃的氛圍氣、蒸氣壓以上。另外，液體在氣化之前，假設要更換鋼瓶。因 此，一次側高壓用減壓閥的最大推薦流量是設想這些氣體在使用的減壓閥的進口側為16℃的蒸氣壓時的流量。

■負壓或非常低的正壓的壓力調整時需要精密調整。

■供給側減壓閥推薦①和②2臺的場合，表示二段減壓是必要的。就是說①的品種是第一段減壓閥，②的品種是第二段 減壓閥，推薦2臺串聯連接使用。
■閥的推薦品種是基于一般的鋼瓶壓和供給氣路壓的產品。低壓時的閥壓力下降變大的場合，需選定別的閥。
■閥的推薦品種是工藝氣路切斷用的產品。清除閥和排氣閥， 這里不使用一般AP3000,AP3650,AP3540 閥有充分的流量特性。這個選定指南登載的品種，為了簡略，只表示 代表的型號。型號、大小和額定壓力是特定的。例如，表示 手動閥AP3650 的場合，有同等規格的AP3600和AP3625也是推薦品種。
■使用一氧化二氮(N?O) 的減壓閥和二氧化碳(CO2) 的一次側高壓用減壓閥，若氣體連續的流動，流量超過100slpm 的用途 時，推薦Vespel⑧閥座。
■根據氣體的種類、在周圍環境的影響和連續的氣體流動的用 途上，由于有凍結和再液化的可能性，有需對供給側的加熱 的場合。推薦加熱的場合，在理解氣體的性質的基礎上使用合適的加熱手段。通常氣體在減壓閥的上游側加熱。
■氣路壓，為設想到低0.4MPa,或一般的鋼瓶壓中二者小的壓力。實際的氣路壓比這里高的場合，變成比這個指南記載的流量大的流量。