一、腔體：日常擦拭，定期深度清潔

　　腔體內壁沉積的靶材顆粒是影響鍍膜均勻性和真空度的主要原因。

　　日常清潔：每次鍍膜后，趁腔體微熱時用無塵布蘸取異丙醇或專用清潔劑，擦拭內壁、基片臺和擋板表面，清除松散沉積物，防止累積硬化。

　　深度清潔：當腔體受污染或真空抽速明顯下降時，需進行深度清潔。先斷電泄壓，拆卸可移除的屏蔽組件。用尼龍研磨墊（如ScotchBrite）輕磨內壁去除頑固沉積物，再用清潔劑沖洗干凈。清潔后須用干燥氮氣吹干，確保無溶劑殘留。

　　關鍵細節：操作時須佩戴無塵手套，避免指紋污染腔體；切勿使用金屬硬質工具刮擦不銹鋼內壁，防止損傷表面導致后續放氣。

　　二、視窗：防止刮花，溫和清潔

　　視窗清潔的難點在于既要清除濺射鍍層，又不能劃傷玻璃表面。

　　清潔材料：清除濺射鍍層時，先用無塵布蘸取異丙醇初步擦拭。若無法完全去除，可使用精細玻璃拋光膏或細度拋光劑，最后用溫肥皂水或異丙醇收尾。嚴禁使用粗研磨墊（如ScotchBrite）處理玻璃視窗，以免造成不可逆劃痕。

　　密封維護：清潔視窗的同時，用無塵布蘸取異丙醇擦拭O型密封圈，并薄涂一層真空硅脂以確保密封性。

　　三、靶材：正常使用免清潔，損壞則更換

　　靶材在濺射過程中會自我清潔，正常情況下無需額外處理。

　　更換標準：當靶材出現明顯的"跑道"環槽、穿孔或厚度消耗至初始的1/3左右時，即為更換信號。

　　更換操作：拆卸舊靶材后，用無塵布蘸取清潔劑擦拭靶座接觸面，去除氧化層和殘留物，確保導電良好。安裝新靶材時須戴無塵手套，保證靶材與靶座貼合緊密。安裝后需進行預濺射測試，確認放電穩定。

　　規范核心：執行任何開腔維護前，務必確認設備已完全斷電、泄壓至大氣壓。建立清潔保養臺賬，記錄每次維護內容與靶材使用時長，實現可追溯的標準化管理。