在5G通信、柔性顯示、新能源電池等前沿領域,薄膜材料的性能直接決定了產品的可靠性。其中,體積電阻率和表面電阻是衡量薄膜絕緣性能的核心指標,但超薄厚度的測試卻充滿挑戰:
● 傳統設備電極覆蓋不足,信號不穩定;
● 微米級厚度易引發邊緣短路;
● 不同規格樣品需頻繁更換夾具,效率低下等。

解決方案:薄膜產品測試
需要對其新型薄膜產品進行關鍵電學性能測試:測試薄膜產品的體積電阻率、表面電阻。
(二)測試要求
● 檢測項目:體積電阻率、表面電阻
● 樣品規格:10μm/14μm/40μm薄膜
(三)解決方案
針對客戶超薄薄膜材料的電學性能檢測需求,需完成體積電阻率(ρv)及表面電阻(Rs)兩項核心指標測試。
1.體積電阻率(ρv)作為表征材料整體絕緣性能的核心參數,其數值直接決定了電子器件的漏電流與能耗。當測試超薄樣品時,需要使用大電極均勻加壓,避免局部擊穿。
2.表面電阻(Rs)作為表征材料表面導電特性的核心參數,其量值直接決定防靜電、電磁屏蔽等性能。在微米級薄膜材料測試中,易引發因電極接觸不良導致的數據波動。
為兼顧測試精度與效率,推薦采用TH2690系列飛安表/靜電計/高阻計+TH26090表面電阻率/體電阻率測試夾具的組合方案,其核心優勢如下:

單機全功能
TH2690系列通過高度集成化設計,實現了"單機全功能測試",擺脫對上位機的依賴,為微弱信號測量帶來革命性便捷體驗。
0.01fA電流分辨率
TH2690系列其最小電流分辨率0.01fA(10-17A),可滿足大部分場景的微弱電流測量需求,大大解決薄膜材料信號漂移問題。
數據分析處理能力
TH2690系列內置±1000V電壓源,支持1mV步進式精密調節,可實現從1V到1000V寬范圍電壓的精確施加與動態控制,滿足高阻材料測試的電壓精度要求。
在10μm級超薄薄膜的體積電阻率測試中,傳統小電極存在兩大技術瓶頸:覆蓋失效+短路風險,同惠電子針對性開發了TH26090表面電阻率/體電阻率測試夾具適用被測件尺寸:直徑 50mm ~ 125mm,厚度:10μm ~ 10mm,確保有效接觸面積,大大降低短路發生率。
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