功率半導體（功率器件）在數碼顯微系統下的觀察、測量

在半導體中，CPU和存儲器較具代表性，但是功率半導體是控制電力的半導體，而非處理數據，所以被稱為功率器件。下面我們將為您介紹通過數碼顯微系統來觀察、測量功率半導體（功率器件）的案例。

■什么是功率半導體

功率半導體的定義雖不明確，但它是控制高電壓、大電流的半導體，人們通常將額定電流在1 A及以上的半導體稱為功率半導體。

■功率半導體的作用

變頻器：

將直流轉換為交流。

換流器：

將交流轉換為直流。

頻率轉換：

轉換交流的頻率。

調節器：

轉換直流的電壓。

■功率半導體的種類和特點

?功率二極管

作用：整流
不進行開關，僅向單一方向通過電流。

?功率晶體管

作用：開關和放大

晶閘管

較早投入應用，具有高耐壓的特點。

功率MOS FET（金屬氧化物半導體場效應晶體管）

特點是高速、高頻。在低于200 V左右的低耐壓領域，功率MOS FET的應用非常普遍。筆記本電腦和IT設備較具代表性。

IGBT（絕緣柵雙極型晶體管）

特點是高耐壓、高速、高頻。在200 V及以上的中、高耐壓領域，IGBT十分常用。EV、混合動力車、鐵路車輛較具代表性。

■通過數碼顯微系統來觀察、測量功率半導體（功率器件）的案例

為您介紹使用基恩士的4K數碼顯微系統“VHX系列"來觀察、測量功率半導體的應用案例。

功率半導體探針劃痕的3D測量

IGBT探針劃痕的3D測量

功率半導體不良位置的觀察

利用Optical Shadow Effect Mode，能夠實現凹凸的可視化，快速判斷不良部位有附著或是凹陷。

功率半導體晶圓原料的觀察

利用去除環形光暈功能，能夠消除表面的光暈。

功率半導體注塑樹脂內的填充物（填充劑）觀察

利用HDR功能，可提升對比度，從而準確測量填充物的形狀。

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