
根據客戶需求,果果儀器為大連理工大學交付定制電路板冷熱臺。該產品采用液氮致冷、電阻加熱的方式,提供-190℃~400℃溫度范圍內的精準控制。
該設備可實現光學、電學、高低溫溫度控制的多場耦合測試;配有定制轉接板,可與現場光學系統穩定連接,有效抑制真空振動對微區觀測的干擾。此外,9 mm的物鏡工作距離支持50倍放大下的光學觀測。
為了拓展設備使用,電學測試可分為兩個場景:
(1)樣品與微型電極集成于PCB板上,可直接接入測試;
(2)去掉PCB板后,設備可作為常規光學冷熱臺使用。
設備配有電學接口,可外接半導體參數分析儀,實現低至非安級的漏電流測試。針對高倍物鏡觀測需求,設備還集成獨立氣路系統,既支持真空測試,也可在預抽真空后通入惰性氣體進行溫控實驗,進一步減小振動對高分辨觀測的影響。

設備適配現場
產品主要技術規格:
1、冷熱方式:液氮致冷,電阻加熱
2、溫度范圍:-190℃-600℃,真空下-190℃-400℃
3、溫度穩定性:-190℃~120℃,±0.3℃;120℃~600℃,±0.1℃
4、控溫速率:最大升溫速率:150℃/min,最大降溫速率:40℃/min
5、載樣臺:銀質;23mm*23mm
6、光路:反射
7、上視窗尺寸:φ25mm*1mm
8、視窗材質:JGS2石英玻璃(透射波段范圍220nm~2500nm),可手動拆卸更換)
9、視窗上表面到載樣臺上表面距離:9mm
10、視窗除霜:低溫下吹氣除霜
11、電學接口:BNC*6
12、樣品臺面電位:接地/電懸空
13、腔室:真空
14、電學實現:PCB板


