近日，果果儀器順利完成一項重要交付——為國內某高等研究所定制四英寸光學冷熱臺（型號：CH400V-F01）。該設備采用液氮致冷與電阻加熱雙模式溫控，覆蓋-190℃至400℃寬溫區，配備四英寸無氧銅鍍金載樣臺與JGS-2石英玻璃視窗（透射波段220~2500nm），滿足大尺寸樣品在變溫環境下的高精度原位光學測試需求。
客戶需求：大尺寸樣品的變溫原位光學表征
該用戶的測試場景涉及大尺寸光學元件、晶圓級器件及半導體材料在寬溫區范圍內的原位光學性能表征，面臨以下核心挑戰：
? 大尺寸樣品溫控缺失：常規光學冷熱臺載樣臺多局限于小尺寸樣品（如23mm×23mm），難以滿足四英寸晶圓、大尺寸光學元件等樣品的整片測試需求。將大尺寸樣品裁剪后測試會破壞樣品完整性并引入額外誤差。
? 寬溫區原位光學測試困難：材料的光學性能（如透射率、反射率、光致發光等）隨溫度變化顯著。常規設備難以在-190℃至400℃的寬溫區內實現穩定溫控與光學原位同步測試，且低溫下視窗結霜會嚴重干擾光信號采集。
? 光路兼容與信號質量要求高：變溫光學實驗對視窗材質的透光性（紫外-可見-近紅外寬波段）、腔體真空度（防止水氧干擾）及樣品位置穩定性提出非常高的要求。常規冷熱臺難以兼顧寬溫區、高透光與低背景噪聲。
解決方案：果果儀器四英寸光學冷熱臺
果果儀器四英寸光學冷熱臺CH400V-F01大尺寸樣品承載、寬溫區精準控溫與高透光原位光學測試，核心參數如下：
1、型號：CH400V-F01
2、冷熱方式：液氮致冷，電阻加熱
3、溫度范圍：-190℃ ~ 400℃
4、溫度穩定性：±1℃
5、控溫速率：最大升溫速率：50℃/min；最大降溫速率：30℃/min
6、載樣臺：4英寸；無氧銅鍍金
7、光路：反射
8、視窗材質：JGS-2石英玻璃（透射波段220~2500nm），可手動拆卸更換
9、載樣臺上表面到視窗上表面距離：13.2mm
10、視窗除霜：配吹氣支架，低溫下液氮尾氣吹拂除霜
11、腔室真空度：機械泵≤1Pa，分子泵10??Pa
● 三大核心優勢
優勢一：四英寸大尺寸載樣臺，突破小尺寸樣品限制
區別于市面上常見的20mm×20mm級別載樣臺，CH400V-F01配備四英寸（φ101.6mm）無氧銅鍍金載樣臺，可完整承載四英寸晶圓、大尺寸光學元件及大面積薄膜樣品。無氧銅鍍金材質兼具優異的熱傳導性能與抗腐蝕特性，確保大尺寸樣品在寬溫區內溫度均勻分布，避免因樣品裁剪引入的測試偏差。
優勢二：-190℃~400℃寬溫區精準控溫，實現變溫原位光學測試
設備集成液氮致冷與電阻加熱雙模式，覆蓋-190℃至400℃寬溫區，最大升溫速率達50℃/min，最大降溫速率30℃/min。配合PID溫控算法與高精度傳感器，溫度穩定性優于1℃，可在變溫過程中實時追蹤材料光學性能（如透射率、反射率、熒光光譜等）隨溫度的演化規律。設備支持定點控溫與程序段控溫雙模式，滿足不同實驗場景的溫控需求。
優勢三：高透光石英視窗與真空腔體，保障光學信號純凈度
設備配備JGS-2石英玻璃視窗，透射波段覆蓋220nm至2500nm（紫外-可見-近紅外），滿足從深紫外到近紅外寬光譜范圍的透射/反射光學測試需求。視窗采用易拆卸模塊化設計，可根據實驗需求更換不同材質窗片。配合吹氣支架在低溫下利用液氮尾氣吹拂除霜，有效避免視窗結霜對光信號的干擾。高真空腔室（機械泵≤1Pa，分子泵10??Pa）有效隔絕水氧，確保高溫/低溫環境下樣品不受污染，數據真實可靠。
交付現場：安裝調試與操作培訓
果果儀器技術團隊完成設備安裝與調試后，就設備操作、溫控程序設置、真空系統使用、視窗更換及維護等環節開展了專項培訓，確保研究人員能夠快速上手、獨立開展變溫原位光學測試實驗。
本次交付的四英寸光學冷熱臺CH400V-F01將正式納入該研究所的光學表征設備體系，支撐其在紅外光學材料、半導體器件、大尺寸晶圓等領域的變溫原位光學性能研究與測試需求。
● 設備適配現場
5