激光掃描表面形狀檢查機
核心系統“CSYS"系列的激光掃描寬度為40毫米,可以測量大范圍內的微小高度變化。其他公司無法重現實際的表面變化,因為它們將小區域的數據圖像拼接在一起。
核心系統是“激光表面形狀檢查機",可檢查半導體晶圓(Si、SiC、GaN等)、MEMS、硬盤、FPD用功能膜、濺射薄膜等的“表面形狀"和“粗糙度"。可以高靈敏度、快速、大范圍地檢查“起伏"、“顆粒"、“劃痕",并顯示“數字數據"和“3D圖像數據" ."
【特征】
① 非接觸式激光掃描顯示表面形狀(粗糙度、波紋度、劃痕、污垢、顆粒)測量數據
② 檢測靈敏度高,可在較寬的測量范圍內進行快速測量,并可進行數字圖像顯示。
③ 光學檢測原理和結構簡單,可靠性高
④ 由于40毫米的掃描寬度是在2.8毫秒的短時間內完成掃描的,因此具有的抗振能力,不需要隔振臺或隔振裝置。
⑤ 所有在線過程的無損檢測,可實現自動化
[被測工件]
半導體晶圓、硬盤、金屬薄膜、薄膜、FPD、MEMS等

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