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由不銹鋼或塑料(例如:PVDF或PFA)制成的封裝換能器,安裝在現有水槽的底部或側壁。除了4英寸、6英寸和8英寸基板的標準系統外,還提供定制的解決方案。
這一靈活的配置允許一個方便的改裝與兆聲系統在現有水槽。
在世界各地,SONOSYS®代表的未來安方案。這尤其適用于頻率為400 kHz/600 kHz/1 MHz和2 MHz的Megasonic系統。
極為均勻的能量傳輸確保了迄今為止未達到的清潔性能,同時為微結構提供了保護。世界上的:我們的換能器系統,擁有正在申請的壓電陶瓷,可以實現40%以上的聲壓或高達30%的效率。
應用:
基板、半導體晶圓、微零件和微系統(MEMS)的清潔,最大可達200毫米,光致抗蝕劑在LIGA內的去除技術,以及蝕刻工藝。
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