
?? 1. 產(chǎn)品概覽
產(chǎn)品名稱(chēng):EC-80P Non-Contact Type (非接觸式)
測(cè)量原理:渦流法 (Eddy Current method)
啟動(dòng)方式:探頭接觸樣品自動(dòng)開(kāi)始測(cè)量
測(cè)量模式:提供三種模式,分別為晶圓電阻率、體電阻率和薄層電阻(Sheet Resistance)。
?? 2. 測(cè)量范圍與探頭類(lèi)型
該設(shè)備的測(cè)量范圍取決于所選的探頭類(lèi)型,具體參數(shù)如下表所示:
| 參數(shù) | 低阻探頭 | 中阻探頭 | 高阻探頭 | 超高阻探頭 | 太陽(yáng)能晶圓探頭 |
|---|
| 電阻率 (Ω.cm) | 0.001 - 0.05 | 0.05 - 0.5 | 0.5 - 60.0 | 60.0 - 200.0 | 0.2 - 15.0 |
| 薄層電阻 (Ω/Sq) | 0.01 - 0.5 | 0.5 - 10.0 | 10.0 - 1k | 1k - 3k | 5 - 500 |
?? 3. 適用材料與操作
該設(shè)備專(zhuān)為半導(dǎo)體及光伏行業(yè)設(shè)計(jì),通過(guò)非接觸式渦流技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)多種導(dǎo)電材料的快速電阻率檢測(cè),覆蓋了從低阻到超高阻的廣泛測(cè)量需求。