在半導體制造的精密世界里,晶圓(Wafer)表面的微小缺陷往往隱藏在強烈的鏡面反光之下,成為機器視覺檢測的一大難題。傳統的照明方式在面對高反光表面時,常常因產生眩光而掩蓋真實的缺陷信息。CCS Inc. 推出的 LFV3系列同軸照明光源,憑借其獨特的光學設計和IR2技術升級,為半導體行業提供了一套高效、無損的檢測解決方案。
1. 直面挑戰:為何半導體檢測需要“同軸"?
半導體晶圓及封裝基板通常具有非常高的光潔度,屬于典型的“Lobe 0"高反光物體。在使用普通環形光或條形光照射時,光線會在表面產生強烈的鏡面反射,導致相機傳感器飽和,形成一片“過亮"的區域,從而無法看清劃痕、顆粒污染或電路破損等關鍵缺陷。
LFV3系列的核心優勢在于其同軸照明(Coaxial Illumination)原理。光線通過分光鏡垂直向下照射工件,相機鏡頭也垂直接收反射光。這種設計使得光線入射角與反射角高度一致,有效“撫平"了表面的鏡面反光,將干擾降至非常低,從而讓隱藏在反光下的微小缺陷無處遁形。
2. 技術革新:IR2系列帶來的三大核心升級
作為CCS紅外光源產品線的重要一環,LFV3系列屬于最新的IR2(Infrared 2nd Generation)產品陣容。相比舊款,它在性能和兼容性上實現了顯著躍升:
統一24VDC輸入,簡化系統集成
IR2系列全線產品(包括LFV3)均已統一為 24VDC 輸入電壓。這一標準化設計消除了不同顏色光源(如紅、白、紫外、紅外)電壓不兼容的煩惱,使得控制單元可以通用,極大地降低了自動化檢測設備(AOI)的布線復雜度和維護成本。
輸出功率大幅提升,穿透力更強
搭載最新的LED芯片技術,LFV3系列在 940nm 波段的輸出功率相比前代提升了 1.5倍。更高的亮度意味著在高速產線中也能獲得清晰的圖像,同時增強了紅外光對硅片(Silicon)的穿透能力,有助于檢測晶圓內部的隱性損傷。
低熱損傷設計,守護高價值工件
傳統的鹵素燈在照射時會產生大量熱量,容易對敏感的半導體材料造成熱損傷。LFV3采用的紅外LED僅輻射特定波長的能量,發熱量極低,確保了在長時間檢測過程中,晶圓的物理特性不會受到任何影響。
3. 精準匹配:波長與型號的選擇
針對半導體行業的不同檢測需求,LFV3系列提供了靈活的配置選項:
該系列提供多種尺寸(34mm 至 200mm)及顏色(紅/白/藍),主要參數如下:
①. 電氣參數
②. 光學參數
紅色 LED:峰值波長 630nm 或 635nm。
白色 LED:色溫 6,000K 或 6,500K。
藍色 LED:波長 460nm、470nm 或 480nm。
③. 附件選項
④. 推薦控制器
⑤. 重量范圍
⑥. 標準型號
⑦. 緊湊型號(CP 系列)
4. 實戰應用:從“看見"到“看透"
在實際的半導體外觀檢測(AOI)場景中,LFV3同軸光源的應用效果明顯:
結語
在追求非常良率的半導體制造領域,光源的選擇直接決定了檢測的精度上限。CCS LFV3同軸光源通過消除鏡面反光干擾、提升紅外輸出功率以及標準化的電壓設計,為半導體Wafer的無損檢測樹立了新的標準。對于正在尋求高穩定性、高精度視覺解決方案的制造商而言,LFV3無疑是一款值得信賴的核心組件。