avaldata高光譜相機(jī)AHS-003VIR在半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)中的應(yīng)用

時(shí)間：2026/6/16閱讀：203

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，良率即生命。隨著制程工藝進(jìn)入納米級(jí)別，任何微小的雜質(zhì)、劃痕或薄膜厚度不均都可能導(dǎo)致芯片失效。傳統(tǒng)的可見(jiàn)光檢測(cè)技術(shù)在面對(duì)硅基材料內(nèi)部缺陷或透明污染物時(shí)往往束手無(wú)策。Aval Data公司推出的AHS-003VIR高光譜相機(jī)，憑借其450nm至1700nm的光譜覆蓋能力，為半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)提供了一種非接觸、無(wú)損且精準(zhǔn)的解決方案，堪稱微觀世界的“X光眼"。

穿透表象：近紅外光譜的物理基礎(chǔ)

半導(dǎo)體晶圓主要由硅（Si）材料構(gòu)成，硅在可見(jiàn)光波段是不透明的，但在近紅外波段（NIR）具有一定的透射性。AHS-003VIR的核心是一顆由索尼制造的InGaAs（銦鎵砷）傳感器，使其能夠捕捉從可見(jiàn)光邊緣到短波紅外（SWIR）的光譜信息。這一特性使得相機(jī)能夠“看穿"硅基底的表層，探測(cè)到內(nèi)部的結(jié)構(gòu)異常。

該相機(jī)在640像素的線陣上，以512個(gè)波段對(duì)450nm至1700nm的波長(zhǎng)范圍進(jìn)行光譜分解。不同物質(zhì)對(duì)光的吸收和反射特性不同，這種特性被稱為“光譜指紋"。通過(guò)分析晶圓表面及次表面的光譜反射差異，AHS-003VIR能夠識(shí)別出肉眼及普通RGB相機(jī)無(wú)法察覺(jué)的缺陷。

實(shí)時(shí)捕捉：高速推掃與穩(wěn)定成像

半導(dǎo)體生產(chǎn)線（Fab）對(duì)檢測(cè)設(shè)備的穩(wěn)定性和速度有著嚴(yán)苛要求。AHS-003VIR采用推掃式（Push-broom）成像技術(shù)，配合高精度的線掃描光學(xué)系統(tǒng)，能夠?qū)Ω咚龠\(yùn)動(dòng)的晶圓進(jìn)行連續(xù)成像。

為了保證在工廠環(huán)境下的成像質(zhì)量，該相機(jī)內(nèi)置了珀?duì)柼≒eltier）冷卻元件。這一設(shè)計(jì)有效抑制了傳感器因溫度波動(dòng)產(chǎn)生的噪點(diǎn)，確保了長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行下的圖像信噪比和測(cè)量穩(wěn)定性。同時(shí)，相機(jī)支持Camera Link和千兆以太網(wǎng)（GigE Vision）雙接口，最高行掃描速率可達(dá)2767 FPS（在選擇8個(gè)波段時(shí)），全滿足半導(dǎo)體前道檢測(cè)中對(duì)高速在線監(jiān)測(cè)的需求。

精準(zhǔn)識(shí)別：從空間信息到光譜維度

AHS-003VIR不僅僅是一臺(tái)成像設(shè)備，更是一個(gè)數(shù)據(jù)立方體（Data Cube）生成器。它同時(shí)獲取XY坐標(biāo)上的二維空間信息以及波長(zhǎng)軸上的光譜數(shù)據(jù)。在晶圓檢測(cè)中，這種多維數(shù)據(jù)具有非高的價(jià)值：

雜質(zhì)與污染物檢測(cè)：某些有機(jī)污染物或微小顆粒在特定的近紅外波段下會(huì)呈現(xiàn)出獨(dú)特的吸收峰。通過(guò)比對(duì)標(biāo)準(zhǔn)晶圓的光譜指紋，系統(tǒng)可以精準(zhǔn)定位污染物的位置。
薄膜厚度測(cè)量：半導(dǎo)體制造中涉及多層薄膜沉積。不同厚度的薄膜會(huì)導(dǎo)致光的干涉效應(yīng)不同，從而改變反射光譜的形狀。利用AHS-003VIR的高光譜分辨率（18.8nm），可以反演出薄膜的厚度分布，及時(shí)發(fā)現(xiàn)厚度不均的區(qū)域。
內(nèi)部缺陷分析：對(duì)于硅片內(nèi)部的微裂紋、位錯(cuò)或摻雜不均，近紅外光能夠穿透表層并被內(nèi)部結(jié)構(gòu)散射。相機(jī)捕捉到的散射光譜變化，能夠直觀地反映出內(nèi)部結(jié)構(gòu)的異常。

參數(shù)信息一覽

型名	AHS-003VIR
撮像素子	InGaAs傳感器單級(jí)電子冷卻 640H（空間）×512V（光譜）像素尺寸5μm×5μm
分光波長(zhǎng)	450nm?1700nm ※取決于衍射光柵
波長(zhǎng)分解能	18.8 nm
接口	千兆以太網(wǎng)（1000BASE-T）/ CameraLink
撮影方式	推掃式（線陣掃描式）
鏡頭卡口	C卡口 1/4英寸
行速率	最大行速率 220.00 FPS ※全波段選擇 @GiGE / 8位時(shí) 240.61 FPS ※全波段選擇 @CameraLink / 8位時(shí) 2767 FPS ※8波段選擇 @CameraLink / 8位時(shí)
露光時(shí)間	6微秒～10毫秒（可設(shè)置范圍：6微秒～9.99秒）※8位時(shí)
增益	×1～×4（約0dB～+12dB）
黑電平	0LSB～127LSB可調(diào)（10位時(shí)）
主要機(jī)能	狀態(tài)LED、外部觸發(fā)、各類校正（DSNU、PRNU、像素缺失、暗場(chǎng)校正）場(chǎng)域升級(jí)功能、頻段選擇
PRNU	具有像素間亮度不均補(bǔ)償功能
DSNU	具有像素間暗時(shí)不均補(bǔ)償功能
同期方式	內(nèi)部 / 外部同期
映像出力	8 / 10 / 12 位
電源	輸入電壓：DC12V?24V±1V 功耗：7W（典型值）
動(dòng)作溫度/濕度	0℃?45℃ / 20 ?80%（但不得出現(xiàn)凝露）
保存溫度/濕度	-15℃ ? +65℃ / 20 ?80%（但不得出現(xiàn)凝露）
外形寸法	87毫米×120毫米×192毫米（不包括凸起部分）
重量	1250 克
環(huán)境対応	RoHS

結(jié)語(yǔ)

Aval Data AHS-003VIR將光譜分析技術(shù)帶入了工業(yè)產(chǎn)線，它不再局限于“看"，而是通過(guò)“分析"來(lái)實(shí)現(xiàn)決策。在半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)中，這種能夠穿透表象、洞察微觀結(jié)構(gòu)的能力，正是提升良率、保障芯片性能的關(guān)鍵。作為工業(yè)4.0時(shí)代的核心感知元件，AHS-003VIR正在重新定義精密檢測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)。

avaldata高光譜相機(jī)AHS-003VIR在半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)中的應(yīng)用

穿透表象：近紅外光譜的物理基礎(chǔ)

實(shí)時(shí)捕捉：高速推掃與穩(wěn)定成像

精準(zhǔn)識(shí)別：從空間信息到光譜維度

結(jié)語(yǔ)

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