應(yīng)對復(fù)雜工藝，一臺設(shè)備覆蓋全量程

專為精密環(huán)境設(shè)計，兼顧耐用與緊湊

• 緊湊機身，易于集成：LC-450A擁有小巧的機身設(shè)計，深度僅為300mm，可以輕松嵌入到半導(dǎo)體制造裝置、液晶面板生產(chǎn)線或手套箱等設(shè)備中，不占用寶貴的安裝空間。

• 高耐用性傳感器：設(shè)備搭載了東麗自有的超小型氧化鋯傳感器，并經(jīng)過特殊工藝處理，顯著提升了傳感器的耐用性。這確保了在長期連續(xù)運行的工業(yè)環(huán)境中，依然能保持高精度和穩(wěn)定性，減少了維護和更換頻率。

• 快速響應(yīng)：具備出色的響應(yīng)速度，90%的響應(yīng)時間在30秒以內(nèi)，能夠及時捕捉氣體濃度的瞬時變化，為工藝的快速調(diào)整提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

多重防護選配，確保測量精準可靠

1. 活性炭過濾器：用于吸附氣體中可能存在的微量有機物和可燃氣體，防止其在高溫傳感器內(nèi)部發(fā)生燃燒，影響測量準確性。

2. 棉質(zhì)過濾器：作為初級物理屏障，有效阻擋灰塵和固體顆粒進入儀器內(nèi)部，避免污染氣路和傳感器。

3. Si過濾器：專門用于吸附含硅氣體，防止硅化物在傳感器上沉積導(dǎo)致其性能劣化，這對于使用硅烷等氣體的半導(dǎo)體工藝尤為重要。

穩(wěn)定運行，智能監(jiān)控

• 寬電壓電源：支持AC100V～240V的寬范圍電源輸入，能夠適應(yīng)全球不同地區(qū)的電力標準，為設(shè)備的全球化部署提供了便利。

• 完的善的自我診斷功能：設(shè)備內(nèi)置了非常強的自診斷系統(tǒng)，可實時監(jiān)控傳感器溫度、爐溫、CPU狀態(tài)等多種關(guān)鍵參數(shù)。一旦檢測到異常，會立即發(fā)出警報，幫助技術(shù)人員快速定位并解決問題，最大限度地減少停機時間。

• 多樣化信號輸出：標配模擬輸出（4-20mA）和RS-232C串行通信接口，可以方便地與PLC、DCS或上位機系統(tǒng)連接，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的遠程采集、監(jiān)控和記錄，輕松融入工廠的自動化管理體系。

總而言之，TORAY LC-450A憑借其全量程測量能力、優(yōu)秀的耐用性、緊湊的設(shè)計和智能化的監(jiān)控功能，為半導(dǎo)體與液晶制造生產(chǎn)線提供了一個可靠、高效且靈活的氣體純度監(jiān)控方案，是保障高的端的制造工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率的理想選擇。

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