核心優勢：精準復現，靈活可調

• 復合波長照射：該系列光源可同時對 365nm (i線)、405nm (h線) 和 435nm (g線) 這三個關鍵波長進行復合照射。這意味著，它可以無縫替代傳統的高壓汞燈，滿足現有工藝流程對特定光譜的需求，而無需進行復雜的工藝調整。

• 獨立調光功能：與固定的汞燈光譜不同，LLBGR-UV系列允許對這三個波長進行獨立調光。用戶可以根據不同檢測對象（如晶圓、掩模版）的特性，自由調節各波長的光強比例，以達到最佳的成像對比度和缺陷識別效果，這是傳統光源無法實現的。

• 長壽命與高穩定性：采用先進的UV-LED技術，其使用壽命遠超傳統高壓汞燈，大大降低了設備維護頻率和更換燈源的成本。同時，LED光源輸出穩定，能確保長時間檢測過程中結果的一致性。

精準應用：賦能半導體檢測

• 半導體晶圓與掩模版檢測：這是其核心應用場景之一。在掩模版（Mask Blanks）的檢查等高精度工序中，復合波長的靈活配置能夠清晰地顯現出微小的圖案缺陷、顆粒污染或劃痕，有效提升檢測的靈敏度和準確性。

• LED曝光用途：除了檢測，該光源也可作為LED曝光設備的光源，利用其特定波長和可調強度，實現精確的光刻或固化。

• 通用UV固化與粘接：其強的大的UV輸出能力也使其適用于各種UV膠的固化、元件的粘接等工藝，一機多用，提高了設備的投資回報率。

技術規格與靈活配置

• 靈活的光路集成：設備支持連接Φ5至20mm的石英光纖束，便于將光源集成到各種復雜的檢測設備中。

• 豐富的附件選擇：提供多種規格的光纖接口（口金），如PU-LLBGR-A系列，并支持根據客戶需求進行定制，確保了與現有系統的完的美的匹配。

• 便捷的智能控制：標配LAN端口，方便用戶通過上位機進行遠程控制和狀態監控，輕松融入自動化生產線。

總而言之，Aitec LLBGR-UV系列憑借其多波長復合照射、獨立可調光強以及長壽命等顯著優勢，為半導體檢測領域提供了一種高性能、高靈活性的理想光源解決方案，是替代傳統高壓汞燈、升級檢測工藝的強的大的工具。

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