在半導體晶圓高精度檢測場景中,高速運動的晶圓產線對光源的同步性、亮度可控性提出了非常高要求,CCS PF系列作為超亮頻閃光源專用控制電源,憑借精準的時序控制能力,為晶圓外觀缺陷檢測、顯微成像等環節提供了穩定可靠的超高速頻閃光源解決方案。

半導體晶圓檢測往往需要在相機極短的曝光窗口內完成高亮度補光,避免運動模糊、畫面欠光問題,PF系列從根源上解決了傳統光源時序不匹配的痛點:
支持?發光延遲時間0~100μs?,控制精度可達0.1μs,可將發光時序精準對齊到相機曝光區間內,確保晶圓表面獲得充足均勻的光照
最短發光時間僅為1μs,適配超高速流水線的晶圓抓拍需求,徹的底的消除高速移動帶來的成像拖影
512檔精細調光,通過調整輸出電壓靈活改變光源亮度,可適配不同厚度、不同材質晶圓的檢測光照需求
PF系列提供兩款主流規格,可靈活匹配不同規模的晶圓檢測工位:
其中PF-A16048-4額外搭載觸發聯動功能,僅需輸入1路觸發信號,即可同步控制多個通道的光源聯動點亮/熄滅,滿足晶圓多視角同步成像的檢測需求。
針對半導體無塵車間的自動化運行要求,PF系列提供了完的善的對接能力:
同時支持以太網通信與并行通信,可直接接入產線PLC、視覺控制器,實現遠程參數配置與狀態監控
支持最多10組場景參數存儲,通過以太網即可快速完成調光、頻閃時長、發光延遲等參數的注冊,也可通過觸發線纜快速切換不同檢測場景的光照方案
支持雙調光范圍切換:HI檔輸出DC33~48V,LO檔輸出DC12~48V,可根據不同檢測工位的亮度需求靈活切換,適配從低倍宏觀掃拍到高倍顯微缺陷檢測的全場景需求。
這套方案憑借高同步性、高可控性的頻閃控制能力,完的美的適配半導體晶圓高速檢測的嚴苛工況,大幅提升了晶圓外觀瑕疵、微觀圖案的成像清晰度,是工業視覺半導體檢測領域的高可靠性光源控制選擇。
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