1、角度測量原理

     角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個(gè)相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會(huì)導(dǎo)致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會(huì)被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實(shí)現(xiàn)±10°以內(nèi)的角度精密測量。

2、角度測量用組件

角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個(gè)相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會(huì)導(dǎo)致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會(huì)被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實(shí)現(xiàn)±10°以內(nèi)的角度精密測量。

角度測量用到的激光干涉儀組件：

     激光干涉儀測頭、角度測量光學(xué)鏡組、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。

3、角度測量應(yīng)用

三坐標(biāo)測量機(jī)校準(zhǔn)

    傾斜工作臺 / 準(zhǔn)直平臺測量（切片機(jī)/校正機(jī)等）

    XY工作臺的俯仰和扭擺評估（印刷電路板鉆床、LCD校正機(jī)等）