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日本愛發(fā)科ULVAC PRC-006A密閉式電機羅茨泵技術(shù)介紹
日本愛發(fā)科ULVACPRC-006A密閉式電機羅茨泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACPRC-006A密閉式電機羅茨泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACPRC-006A密閉式電機羅茨泵技術(shù)介紹：屏蔽電機無軸封原理與半導(dǎo)體潔凈真空應(yīng)用在半導(dǎo)體制造、液晶面板生產(chǎn)及精密鍍膜等對潔凈度有嚴(yán)格要求的工藝場景中，傳統(tǒng)羅茨泵（機械增壓泵）面臨一個固有局限：電機與泵體之間的軸封長期運行后難免出現(xiàn)磨損，導(dǎo)致潤滑油從軸封處泄漏，污染真空環(huán)境。這一泄漏問題在長時間連續(xù)運行的生產(chǎn)線中尤為突出，直接影響產(chǎn)品良率。愛發(fā)科（ULVAC） -
日本愛發(fā)科ULVAC VD90C單級油旋片真空泵技術(shù)介紹
日本愛發(fā)科ULVACVD90C單級油旋片真空泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACVD90C單級油旋片真空泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACVD90C單級油旋片真空泵技術(shù)介紹：強制供油潤滑原理與大容量工業(yè)真空應(yīng)用在真空鍍膜、真空熱處理、真空干燥及工業(yè)制造等大規(guī)模真空系統(tǒng)中，真空泵不僅需要提供足夠高的抽速以滿足快速抽空的要求，還需在長時間連續(xù)運行中保持穩(wěn)定的排氣性能，特別是在大氣壓附近和反復(fù)抽氣的高負荷工況下。愛發(fā)科（ULVAC）VD-C系列單級油旋片式真空泵正是針對這一需求而開發(fā)，其中VD90C作為該系列的 -
日本愛發(fā)科ULVAC正式發(fā)布NRL180A干式真空泵介紹
日本愛發(fā)科ULVAC正式發(fā)布NRL180A干式真空泵介紹日本愛發(fā)科ULVAC正式發(fā)布NRL180A干式真空泵介紹日本愛發(fā)科ULVAC正式發(fā)布NRL180A干式真空泵介紹，以低溫均熱化技術(shù)賦能PVD與LoadLock工藝領(lǐng)域全球真空技術(shù)綜合解決方案供應(yīng)商日本愛發(fā)科（ULVAC）今日正式面向中國市場推出NRL180A干式真空泵。作為NRL系列中的代表型號，NRL180A依托多級羅茨無油容積式壓縮與低溫區(qū)域均熱化兩大核心技術(shù)，以183m3/h抽速、適合低溫泵體運行、專為PVD和LoadLock工藝優(yōu)化 -
日本愛發(fā)科ULVAC PMB-D系列羅茨式機械增壓泵技術(shù)介紹
日本愛發(fā)科ULVACPMB-D系列羅茨式機械增壓泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACPMB-D系列羅茨式機械增壓泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACPMB-D系列羅茨式機械增壓泵技術(shù)介紹：8字形轉(zhuǎn)子無油壓縮原理與中真空系統(tǒng)增效應(yīng)用在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空熱處理及化工蒸餾等中真空應(yīng)用場景中，真空系統(tǒng)面臨的典型問題是：當(dāng)壓力降至1.3×103～1.3×10?1Pa區(qū)間時，前級泵（油旋片泵或干泵）的抽速會顯著下降，導(dǎo)致系統(tǒng)排氣效率大幅降低。愛發(fā)科（ULVAC）PMB-D系列羅茨式機械增壓泵正是為解決這一痛點而 -
日本愛發(fā)科ULVAC GLD-N280雙級油旋片真空泵技術(shù)介紹
日本愛發(fā)科ULVACGLD-N280雙級油旋片真空泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACGLD-N280雙級油旋片真空泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACGLD-N280雙級油旋片真空泵技術(shù)介紹：雙級逐級壓縮原理與工業(yè)批量真空應(yīng)用在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、工業(yè)熱處理及制冷行業(yè)等對真空度有一定要求且需要中等抽速的工業(yè)場景中，真空泵需要在穩(wěn)定性和抽氣效率之間取得平衡。愛發(fā)科（ULVAC）GLD-N280雙級油旋片式真空泵作為GLD-N系列中的中大抽速代表型號，依托雙級排氣逐級壓縮技術(shù)，以280L/min抽速、0.6 -
日本愛發(fā)科ULVAC CR16B空冷式羅茨型干式真空泵技術(shù)介紹
日本愛發(fā)科ULVACCR16B空冷式羅茨型干式真空泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACCR16B空冷式羅茨型干式真空泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACCR16B空冷式羅茨型干式真空泵技術(shù)介紹：多級羅茨無油壓縮原理與潔凈工業(yè)真空應(yīng)用在真空鍍膜、真空干燥、氣體置換及一般工業(yè)真空工藝中，設(shè)備對真空泵的核心訴求往往集中在無油潔凈、穩(wěn)定運行和較低的運行成本三個維度。傳統(tǒng)的油旋片泵存在油蒸氣污染風(fēng)險，而水冷式干泵則對廠房基礎(chǔ)設(shè)施有較高要求。愛發(fā)科（ULVAC）CR系列空冷式羅茨型干式真空泵正是針對這一需求而開發(fā)，其中 -
日本愛發(fā)科ULVAC MBS-053小型羅茨式機械增壓泵技術(shù)介紹
日本愛發(fā)科ULVACMBS-053小型羅茨式機械增壓泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACMBS-053小型羅茨式機械增壓泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACMBS-053小型羅茨式機械增壓泵技術(shù)介紹：8字形轉(zhuǎn)子無油壓縮原理與中真空系統(tǒng)增效應(yīng)用在真空鍍膜、真空干燥、分析儀器及半導(dǎo)體制造等中真空應(yīng)用場景中，真空系統(tǒng)面臨的一個典型問題是：當(dāng)壓力降至一定區(qū)間時，前級泵（如油旋片泵或干泵）的抽速會顯著下降，導(dǎo)致系統(tǒng)排氣效率大幅降低。愛發(fā)科（ULVAC）MBS系列小型羅茨式機械增壓泵正是針對這一需求而開發(fā)，其中MBS- -
日本愛發(fā)科ULVAC GR60A多級羅茨型干式真空泵技術(shù)介紹
日本愛發(fā)科ULVACGR60A多級羅茨型干式真空泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACGR60A多級羅茨型干式真空泵技術(shù)介紹日本愛發(fā)科ULVACGR60A多級羅茨型干式真空泵技術(shù)介紹：無油容積式壓縮原理與高負荷工業(yè)真空應(yīng)用在半導(dǎo)體LoadLock腔室、真空干燥、氣體置換及一般工業(yè)真空工藝中，設(shè)備往往面臨在大氣壓與真空之間反復(fù)切換的高負荷工況，對真空泵的抽速、耐用性和維護便捷性提出了較高要求。愛發(fā)科（ULVAC）GR系列多級羅茨型干式真空泵正是針對這一需求而開發(fā)，該系列基于獲得市場驗證的LR/HR系列技術(shù)
