針對 INFICON PSG500-S 真空計出現 “真空度來回飄" 的問題，清潔是排查步驟之一，但需優先確認故障類型。以下是針對該型號的安全清潔指南與故障排查方案。

?? 核心安全前提

1. 斷電與泄壓：清潔前必須關閉電源，并確保真空計與真空系統已泄壓至常壓，嚴禁在真空或帶電狀態下操作。

2. 禁用強溶劑：嚴禁使用丙酮、酒精、強酸強堿等腐蝕性溶劑，以免損壞傳感器內部的精密涂層與密封件。

一、 清潔步驟 (僅針對傳感器探頭)

PSG500-S 是皮拉尼 / 電容膜片組合真空計，核心清潔部位是傳感器探頭的進氣口與膜片區域。

1. 拆卸：小心地從真空系統管路中拆下 PSG500-S 的傳感器探頭（通常是獨立的金屬探頭）。

2. 外部清潔：用無塵布蘸取少量中性清潔劑（如微量洗潔精水），輕輕擦拭探頭外殼和進氣口的表面油污、灰塵。

3. 內部清潔 (關鍵)：

l 對于金屬材質的進氣口濾網：可用壓縮空氣（壓力 < 0.5MPa）從反方向輕輕吹掃，或用軟毛刷輕輕刷除粉塵。

l 對于傳感器膜片：這是最易臟且影響測量的部件。絕對不能用布或棉簽擦拭，會造成損傷。

l 正確方法：用潔凈的氮氣（Nitrogen）或干燥的高純空氣，從探頭側面以45 度角、低流量對著膜片表面輕輕吹洗，利用氣流帶走浮塵。

l 頑固污漬：如果有油污，可將探頭（僅探頭部分）放入盛有專用真空計清洗液（可向 INFICON 售后購買）的容器中，浸泡 5-10 分鐘，然后取出用潔凈氮氣吹干。嚴禁液體進入探頭內部電路。

4. 干燥：清潔后，將探頭放置在潔凈干燥環境中自然晾干或用氮氣吹干，確保無任何液體殘留后再安裝。

二、 真空度 “來回飄" 的故障排查

清潔后若問題依舊，說明故障可能并非單純污染，需按以下步驟排查：

三、 建議

· 優先校準：清潔后，強烈建議通過 INFICON 的專業軟件或儀表自帶菜單進行全量程校準。

· 專業維修：如果以上步驟均無效，且真空度在低真空段（如 1-10 Pa）波動明顯，通常是 ** Pirani 傳感器故障；若在高真空段 **（<1e-3 Pa）波動，則是電容膜片傳感器問題。這兩種情況都需要由 INFICON或授權服務商進行專業檢測和維修，切勿自行拆解內部電路。