測量量程:測量范圍為 10mm。
分辨能力:分辨力可達 0.1μm 。
精度指標:20℃時,示值誤差為(0.8+L/50)μm (L 為任意測量長度,單位 mm),在任意 20μm 窄區(qū)間內(nèi),精度穩(wěn)定在 0.5μm,重復(fù)性(2σ)是 0.3μm 。
測力狀況:測桿朝下時,測力不超過 0.8N ;測桿水平時,測力在 0.75N 以下 ;測桿朝上時,測力不高于 0.7N 。
檢測原理:運用光學(xué)式透射型直線柵尺來開展位置檢測 。
輸出信號:輸出 90° 相位差、符合 RS-422 標準的差動方波信號,當輸出信號間距設(shè)為 0.4μm,信號最小邊緣間隔為 250ns,響應(yīng)速度是 400mm/s ;若輸出信號間距為 2μm,最小邊緣間隔 500ns,響應(yīng)速度達 1500mm/s。
物理規(guī)格:測頭是直徑 3mm 的硬質(zhì)合金球形測頭,裝夾套筒直徑 8mm,內(nèi)置線性滾珠軸承,質(zhì)量約 210g,輸出電纜長度大約 2.5m,連接插頭為 HR10A-10P-10P(廣瀨品牌)。
環(huán)境耐受:工作溫度范圍 0℃到 50℃ ,存儲溫度是 - 10℃至 60℃,濕度要求均為 20% 到 80% 無結(jié)露,外殼防護等級 IP67G ,抗振耐沖擊,滑動耐久性超 1 億次 。



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2025.9.11