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ULVAC 愛發(fā)科 G-TRAN 系列真空計(jì) SC1/SC1-N、SH2-1/SH2-2、ST200 選型規(guī)范

2026-7-21　　閱讀(108)

ULVAC 愛發(fā)科 G-TRAN 系列真空計(jì) SC1/SC1-N、SH2-1/SH2-2、ST200 原理、參數(shù)梯度與工況選型規(guī)范

ULVAC 愛發(fā)科 G-TRAN 模塊化真空測量系列是半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、鋰電、真空熱處理產(chǎn)線標(biāo)配壓力監(jiān)測單元，依靠冷陰極、復(fù)合熱陰極、一體化熱陰極三類技術(shù)路線覆蓋中高真空全區(qū)間，核心型號包含冷陰極 SC1、國產(chǎn)化 SC1-N，復(fù)合電離控制器 SH2-1、SH2-2，一體式三極管熱陰極 ST200。三類產(chǎn)品測量區(qū)間、耐受工藝氣體、控制功能差異明顯，是真空系統(tǒng)真空規(guī)選型、舊設(shè)備替換的核心參考品類。

一、冷陰極電離真空計(jì)：SC1（日產(chǎn)）/SC1-N（國產(chǎn)）

SC1 與 SC1-N 為磁控管式無燈絲冷陰極規(guī)，無易損耗燈絲元件，核心測量區(qū)間5×10??～1Pa，適配高真空區(qū)間穩(wěn)定監(jiān)測。二者測量性能全一致，僅產(chǎn)地、適配規(guī)管區(qū)分：SC1 配套日系原裝 C-21/C-23/C-24/C-25 規(guī)管，SC1-N 適配國產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化 C-25-N 規(guī)管，成本更低，適配國內(nèi)批量產(chǎn)線改造項(xiàng)目。核心優(yōu)勢：無燈絲結(jié)構(gòu)，腔體意外破大氣不會燒毀傳感元件，耐微量溶劑蒸汽、濺射金屬粉塵；內(nèi)置 2 路壓力設(shè)定點(diǎn)繼電器輸出，DC24V 供電，0-10V 對數(shù)壓力信號直連 PLC。短板為無法測量 1Pa 以上中低真空，需搭配皮拉尼規(guī)組成復(fù)合監(jiān)測系統(tǒng)。典型應(yīng)用：濺射鍍膜機(jī)、真空釬焊爐、高真空腔體末端高真空點(diǎn)位監(jiān)測。

二、復(fù)合電離真空控制器：SH2-1、SH2-2

SH2 系列為分體式寬量程復(fù)合真空控制器，可同時(shí)搭載熱陰極電離規(guī) M 系列 + 皮拉尼 SPU 規(guī)，完整覆蓋10?～5×10??Pa，一條通道實(shí)現(xiàn)大氣壓至超高真空全程連續(xù)測量。型號功能區(qū)分：

SH2-1：基礎(chǔ)控制款，3 路壓力設(shè)定點(diǎn)開關(guān)量輸出，僅模擬 0-10V 對數(shù)信號，無數(shù)字通訊；
SH2-2：智能化升級款，保留全部模擬功能，新增 RS232C/RS485 串行通訊，支持上位機(jī)讀取壓力、燈絲壽命、故障代碼，適配自動化閉環(huán)產(chǎn)線。
結(jié)構(gòu)優(yōu)勢：規(guī)管獨(dú)立可拆卸，僅更換損壞傳感單元即可維保，整機(jī)無需返廠；內(nèi)置燈絲過載、斷路、除氣保護(hù)，有機(jī)揮發(fā)物工況下燈絲壽命顯著優(yōu)于傳統(tǒng)熱陰極規(guī)。適配晶圓制程、OLED 蒸鍍、連續(xù)式真空生產(chǎn)線多腔體集中壓力管控。

三、一體式三極管熱陰極真空計(jì) ST200

ST200 為傳感器 + 控制電路一體化金屬三極管電離規(guī)，無需額外控制器，安裝布線極簡，測量基準(zhǔn)區(qū)間1×10??～10Pa，選配 SWU10-R 皮拉尼附件可拓展至大氣壓（10?Pa）。產(chǎn)品分 ST200-A（僅模擬輸出）、ST200-R（RS485 通訊）、ST200-E（EtherCAT 工業(yè)總線）三類變體；搭載銥釔氧化物雙燈絲，內(nèi)置燈絲損耗預(yù)警功能，提前推送更換提醒；金屬腔體無玻璃部件，抗震動、耐濺射粉塵，適合小型鍍膜機(jī)、實(shí)驗(yàn)室真空爐、便攜式真空設(shè)備。相比 SH2 分體方案，ST200 體積縮小 56%，節(jié)省控制柜安裝空間，單點(diǎn)位低成本監(jiān)測s選。

四、選型邊界與配套規(guī)范

僅需監(jiān)測 1Pa 以下高真空、頻繁破大氣、預(yù)算可控：SC1-N 新建項(xiàng)目，存量進(jìn)口設(shè)備保留 SC1；
整條產(chǎn)線全程壓力采集、上位機(jī)數(shù)據(jù)采集：自動化產(chǎn)線選 SH2-2，單機(jī)間歇設(shè)備選 SH2-1；
小型腔體、單點(diǎn)監(jiān)測、精簡布線、無獨(dú)立控制柜：ST200 一體化規(guī)；
配套邏輯：冷陰極 SC 系列必須搭配 SW1/SP1 皮拉尼規(guī)彌補(bǔ)中低真空盲區(qū)；SH2、ST200 可按需選配皮拉尼單元實(shí)現(xiàn)全量程覆蓋。

五、運(yùn)維注意事項(xiàng)

SC1/SC1-N 無燈絲，僅定期清理規(guī)筒濺射沉積物；SH2、ST200 燈絲屬于消耗件，有機(jī)溶劑工況建議縮短維保周期；三類產(chǎn)品電源統(tǒng)一 DC24V，但規(guī)管、接頭不可跨系列互換，備件需按型號分類庫存。

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